APA (7th ed.) Citation

Сунь Чжилэй, Конищев М. Е. Максим Евгеньевич, & Пичугин В. Ф. Владимир Федорович. (2020). Исследование пленок азотосодержащего оксида титана осажденных магнетронным распылением; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1: Физика. 2020.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Сунь Чжилэй, Конищев М. Е. Максим Евгеньевич, and Пичугин В. Ф. Владимир Федорович. Исследование пленок азотосодержащего оксида титана осажденных магнетронным распылением; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1: Физика. 2020, 2020.

MLA (9th ed.) Citation

Сунь Чжилэй, et al. Исследование пленок азотосодержащего оксида титана осажденных магнетронным распылением; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1: Физика. 2020, 2020.