Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок

Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок

Dettagli Bibliografici
Autore principale:	Данилин Б. С. Борис Степанович
Lingua:	russo
Pubblicazione:	Москва, Энергоатомиздат, 1989
Soggetti:	тонкопленочные технологии применение тонкие пленки низкотемпературная плазма осаждение тонких пленок травление
Natura:	Libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=63092

Documenti analoghi

Технология тонких пленок учебное пособие для вузов
di: Антоненко С. В.
Pubblicazione: (Москва, НИЯУ МИФИ, 2008)

Безопасность при работах по нанесению тонких пленок
di: Патрушева Т. Н.
Pubblicazione: (Санкт-Петербург, БГТУ "Военмех" им. Д.Ф. Устинова, 2021)

Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов
di: Данилин Б. С. Борис Степанович
Pubblicazione: (Москва, Энергоатомиздат, 1987)

Введение в технологию химического осаждения из газовой фазы тонких пленок для электроники: оборудование, методология, особенности роста учебное пособие для вузов
di: Васильев В. Ю.
Pubblicazione: (Санкт-Петербург, Лань, 2024)

Т. 2; Технология тонких пленок
Pubblicazione: (1977)

Магнитооптика тонких пленок
di: Звездин А. К. Анатолий Константинович
Pubblicazione: (Москва, Наука, 1988)

Свойства и применение диэлектрических тонких пленок в технологиях микроэлектроники учебное пособие
di: Васильев В. Ю.
Pubblicazione: (Новосибирск, НГТУ, 2021)

Осаждение пленок из низкотемпературной плазмы и ионных пучков
di: Осипов К. А. Кирилл Афанасьевич
Pubblicazione: (Москва, Наука, 1973)

Напыление тонких пленок испарением в вакууме практикум
di: Ершов А. В.
Pubblicazione: (Нижний Новгород, ННГУ им. Н. И. Лобачевского, 2020)

Двухкамерная установка для напыления тонких плёнок в поперечном высокочастотном разряде; Приборы и техника эксперимента; № 6
di: Строкань Г. П.
Pubblicazione: (2003)

Осаждение тонких пленок из абляционной плазмы, генерируемой на мишени при воздействии мощного ионного пучка: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
di: Закутаев А. Н. Александр Николаевич
Pubblicazione: (Томск, 1998)

Получение, физико-химические свойства и применение тонких пленок ZrO2, Zr02-Y2O3, Zro2-Fe2O3: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
di: Шульпеков А. М. Александр Михайлович
Pubblicazione: (Томск, 1999)

Т. 1; Технология тонких пленок
Pubblicazione: (1977)

Осаждение тонких пленок из абляционной плазмы, генерируемой на мишени при воздействии мощного ионного пучка: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
di: Закутаев А. Н. Александр Николаевич
Pubblicazione: (Томск, [Б. и.], 1998)

Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур
di: Боброва Ю. С.
Pubblicazione: (Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2020)

Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем учебное пособие для вузов
di: Родионов Ю. А.
Pubblicazione: (Санкт-Петербург, Лань, 2023)

Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения
di: Берлин Е. В.
Pubblicazione: (Москва, Техносфера, 2018)

Исследования тонких пленок Cu2S, предназначенных для получения P-Cu2S/N-ZnO гетеропереходов фотовольтаического назначения; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
di: Шлома Ю. П.
Pubblicazione: (2014)

Лазерные технологии в электронном машиностроении
di: Малов К. В.
Pubblicazione: (Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2008)

Осаждение пленок GaAs из абляционной плазмы, формируемой импульсным мощным ионным пучком: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
di: Ли Цзень Фень
Pubblicazione: (Томск, [Б. и.], 2006)

Вакуумное нанесение тонких пленок
di: Данилин Б. С. Борис Степанович
Pubblicazione: (Москва, Энергия, 1967)

Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения
di: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
Pubblicazione: (Москва, Техносфера, 2018)

Структурные особенности и свойства азотсодержащих тонких плёнок диоксида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления, для применения в биомедицине: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
di: Пустовалова А. А. Алла Александровна
Pubblicazione: (Томск, [Б. и.], 2017)

Влияние низкотемпературной плазмы на поверхностную структуру пленок на основе полимолочной кислоты; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
di: Иванова Н. М. Нина Михаиловна
Pubblicazione: (2019)

Влияние модификации на поверхностные свойства пленок из поликапролактона; Перспективные материалы конструкционного и функционального назначения
di: Филиппова Е. О. Екатерина Олеговна
Pubblicazione: (2020)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
di: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Pubblicazione: (Томск, [Б. и.], 2016)

Выращивание кристаллов: выращивание кристаллических пленок методом магнетронного напыления лабораторный практикум
di: Пархоменко Ю. Н.
Pubblicazione: (Москва, МИСИС, 2017)

Диэлектрические пленки для ИС
di: Саркаров Т. Э.
Pubblicazione: (Махачкала, ДГТУ, 2021)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
di: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Pubblicazione: (Томск, 2016)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
di: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Pubblicazione: (Томск, [Б. и.], 2016)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
di: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Pubblicazione: (Томск, 2016)

Микроструктурирование тонких пленок
Pubblicazione: (Москва, Наука, 1991)

Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH[4] и последующей термообработкой: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8
di: Прокопьев А. Р. Айсен Русланович
Pubblicazione: (Томск, 2023)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
di: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Pubblicazione: (Томск, 2018)

Физические методы нанесения нанопокрытий учебник для вузов
di: Мухин В. С. Виктор Сергеевич
Pubblicazione: (Москва, Юрайт, 2025)

Применение низкотемпературной плазмы в химии
Pubblicazione: (Москва, Наука, 1981)

Физические методы нанесения нанопокрытий учебное пособие для вузов
di: Мухин В. С. Виктор Сергеевич
Pubblicazione: (Москва, Юрайт, 2022)

Физические методы нанесения нанопокрытий учебное пособие для вузов
di: Мухин В. С. Виктор Сергеевич
Pubblicazione: (Москва, Юрайт, 2024)

Физические методы нанесения нанопокрытий учебное пособие для вузов
di: Мухин В. С. Виктор Сергеевич
Pubblicazione: (Москва, Юрайт, 2023)

Физические методы нанесения нанопокрытий учебное пособие для вузов
di: Мухин В. С. Виктор Сергеевич
Pubblicazione: (Москва, Юрайт, 2021)