Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок

Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок

Bibliographic Details
Main Author:	Данилин Б. С. Борис Степанович
Language:	Russian
Published:	Москва, Энергоатомиздат, 1989
Subjects:	тонкопленочные технологии применение тонкие пленки низкотемпературная плазма осаждение тонких пленок травление
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=63092

Similar Items

Технология тонких пленок учебное пособие для вузов
by: Антоненко С. В.
Published: (Москва, НИЯУ МИФИ, 2008)

Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов
by: Данилин Б. С. Борис Степанович
Published: (Москва, Энергоатомиздат, 1987)

Безопасность при работах по нанесению тонких пленок
by: Патрушева Т. Н.
Published: (Санкт-Петербург, БГТУ "Военмех" им. Д.Ф. Устинова, 2021)

Структурные превращения в тонких пленках
by: Иевлев В. М. Валентин Михайлович
Published: (Москва, Металлургия, 1988)

Проблемы субмикронной технологии
Published: (Москва, Наука, 1993)

Введение в технологию химического осаждения из газовой фазы тонких пленок для электроники: оборудование, методология, особенности роста учебное пособие для вузов
by: Васильев В. Ю.
Published: (Санкт-Петербург, Лань, 2024)

Т. 2; Технология тонких пленок
Published: (1977)

Магнитооптика тонких пленок
by: Звездин А. К. Анатолий Константинович
Published: (Москва, Наука, 1988)

Свойства и применение диэлектрических тонких пленок в технологиях микроэлектроники учебное пособие
by: Васильев В. Ю.
Published: (Новосибирск, НГТУ, 2021)

Осаждение пленок из низкотемпературной плазмы и ионных пучков
by: Осипов К. А. Кирилл Афанасьевич
Published: (Москва, Наука, 1973)

Напыление тонких пленок испарением в вакууме практикум
by: Ершов А. В.
Published: (Нижний Новгород, ННГУ им. Н. И. Лобачевского, 2020)

Двухкамерная установка для напыления тонких плёнок в поперечном высокочастотном разряде; Приборы и техника эксперимента; № 6
by: Строкань Г. П.
Published: (2003)

Осаждение тонких пленок из абляционной плазмы, генерируемой на мишени при воздействии мощного ионного пучка: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
by: Закутаев А. Н. Александр Николаевич
Published: (Томск, 1998)

Т. 1; Технология тонких пленок
Published: (1977)

Получение, физико-химические свойства и применение тонких пленок ZrO2, Zr02-Y2O3, Zro2-Fe2O3: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
by: Шульпеков А. М. Александр Михайлович
Published: (Томск, 1999)

Осаждение пленок GaAs из абляционной плазмы, формируемой импульсным мощным ионным пучком: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.02; спец. 01.04.04
by: Ли Цзень Фень
Published: (Томск, [Б. и.], 2006)

Осаждение тонких пленок из абляционной плазмы, генерируемой на мишени при воздействии мощного ионного пучка: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
by: Закутаев А. Н. Александр Николаевич
Published: (Томск, [Б. и.], 1998)

Осаждение пленок GaAs из абляционной плазмы, формируемой импульсным мощным ионным пучком: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.02; спец. 01.04.04
by: Ли Цзень Фень
Published: (Томск, [Б. и.], 2006)

Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения
by: Берлин Е. В.
Published: (Москва, Техносфера, 2018)

Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем учебное пособие для вузов
by: Родионов Ю. А.
Published: (Санкт-Петербург, Лань, 2023)

Исследования тонких пленок Cu2S, предназначенных для получения P-Cu2S/N-ZnO гетеропереходов фотовольтаического назначения; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
by: Шлома Ю. П.
Published: (2014)

Осаждение пленок GaAs из абляционной плазмы, формируемой импульсным мощным ионным пучком: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
by: Ли Цзень Фень
Published: (Томск, [Б. и.], 2006)

Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения
by: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
Published: (Москва, Техносфера, 2018)

Структурные особенности и свойства азотсодержащих тонких плёнок диоксида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления, для применения в биомедицине: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.07
by: Пустовалова А. А. Алла Александровна
Published: (Томск, [Б. и.], 2017)

Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур
by: Боброва Ю. С.
Published: (Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2020)

Влияние модификации на поверхностные свойства пленок из поликапролактона; Перспективные материалы конструкционного и функционального назначения
by: Филиппова Е. О. Екатерина Олеговна
Published: (2020)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Published: (Томск, [Б. и.], 2016)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Published: (Томск, 2016)

Вакуумное нанесение тонких пленок
by: Данилин Б. С. Борис Степанович
Published: (Москва, Энергия, 1967)

Влияние низкотемпературной плазмы на поверхностную структуру пленок на основе полимолочной кислоты; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
by: Иванова Н. М. Нина Михаиловна
Published: (2019)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Published: (Томск, [Б. и.], 2016)

Лазерные технологии в электронном машиностроении
by: Малов К. В.
Published: (Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2008)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Published: (Томск, 2016)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Published: (Томск, 2018)

Диэлектрические пленки для ИС
by: Саркаров Т. Э.
Published: (Махачкала, ДГТУ, 2021)

Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH[4] и последующей термообработкой: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.3.8
by: Прокопьев А. Р. Айсен Русланович
Published: (Томск, 2023)

Выращивание кристаллов: выращивание кристаллических пленок методом магнетронного напыления лабораторный практикум
by: Пархоменко Ю. Н.
Published: (Москва, МИСИС, 2017)

Микроструктурирование тонких пленок
Published: (Москва, Наука, 1991)

Разработка плазменных технологий и оборудования для осаждения тонкоплёночных теплоотражающих покрытий: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Баинов Д. Д. Даши Дамбаевич
Published: (Томск, 2013)

Применение низкотемпературной плазмы в химии
Published: (Москва, Наука, 1981)