Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок

Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок

Detaylı Bibliyografya
Yazar:	Данилин Б. С. Борис Степанович
Baskı/Yayın Bilgisi:	Москва, Энергоатомиздат, 1989
Konular:	тонкопленочные технологии применение тонкие пленки низкотемпературная плазма осаждение тонких пленок травление
Materyal Türü:	Kitap
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=63092

Benzer Materyaller

Технология тонких пленок учебное пособие для вузов
Yazar:: Антоненко С. В.
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, НИЯУ МИФИ, 2008)

Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов
Yazar:: Данилин Б. С. Борис Степанович
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, Энергоатомиздат, 1987)

Безопасность при работах по нанесению тонких пленок
Yazar:: Патрушева Т. Н.
Baskı/Yayın Bilgisi: (Санкт-Петербург, БГТУ "Военмех" им. Д.Ф. Устинова, 2021)

Введение в технологию химического осаждения из газовой фазы тонких пленок для электроники: оборудование, методология, особенности роста учебное пособие для вузов
Yazar:: Васильев В. Ю.
Baskı/Yayın Bilgisi: (Санкт-Петербург, Лань, 2024)

Магнитооптика тонких пленок
Yazar:: Звездин А. К. Анатолий Константинович
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, Наука, 1988)

Свойства и применение диэлектрических тонких пленок в технологиях микроэлектроники учебное пособие
Yazar:: Васильев В. Ю.
Baskı/Yayın Bilgisi: (Новосибирск, НГТУ, 2021)

Осаждение пленок из низкотемпературной плазмы и ионных пучков
Yazar:: Осипов К. А. Кирилл Афанасьевич
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, Наука, 1973)

Напыление тонких пленок испарением в вакууме практикум
Yazar:: Ершов А. В.
Baskı/Yayın Bilgisi: (Нижний Новгород, ННГУ им. Н. И. Лобачевского, 2020)

Двухкамерная установка для напыления тонких плёнок в поперечном высокочастотном разряде
Yazar:: Строкань Г. П.
Baskı/Yayın Bilgisi: (2003)

Осаждение тонких пленок из абляционной плазмы, генерируемой на мишени при воздействии мощного ионного пучка диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
Yazar:: Закутаев А. Н. Александр Николаевич
Baskı/Yayın Bilgisi: (Томск, 1998)

Осаждение тонких пленок из абляционной плазмы, генерируемой на мишени при воздействии мощного ионного пучка автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук
Yazar:: Закутаев А. Н. Александр Николаевич
Baskı/Yayın Bilgisi: (Томск, [Б. и.], 1998)

Получение, физико-химические свойства и применение тонких пленок ZrO2, Zr02-Y2O3, Zro2-Fe2O3 диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
Yazar:: Шульпеков А. М. Александр Михайлович
Baskı/Yayın Bilgisi: (Томск, 1999)

Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур
Yazar:: Боброва Ю. С.
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2020)

Влияние низкотемпературной плазмы на поверхностную структуру пленок на основе полимолочной кислоты
Yazar:: Иванова Н. М. Нина Михаиловна
Baskı/Yayın Bilgisi: (2019)

Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем учебное пособие для вузов
Yazar:: Родионов Ю. А.
Baskı/Yayın Bilgisi: (Санкт-Петербург, Лань, 2023)

Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения
Yazar:: Берлин Е. В.
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, Техносфера, 2018)

Лазерные технологии в электронном машиностроении
Yazar:: Малов К. В.
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, МГТУ им. Н.Э. Баумана, 2008)

Осаждение пленок GaAs из абляционной плазмы, формируемой импульсным мощным ионным пучком автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
Yazar:: Ли Цзень Фень
Baskı/Yayın Bilgisi: (Томск, [Б. и.], 2006)

Влияние низкотемпературной плазмы атмосферного давления на поверхностные свойства пленок поликапролактона
Yazar:: Филиппова Е. О. Екатерина Олеговна
Baskı/Yayın Bilgisi: (2020)

Влияние модификации на поверхностные свойства пленок из поликапролактона
Yazar:: Филиппова Е. О. Екатерина Олеговна
Baskı/Yayın Bilgisi: (2020)

Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения
Yazar:: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, Техносфера, 2018)

Структурные особенности и свойства азотсодержащих тонких плёнок диоксида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления, для применения в биомедицине диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
Yazar:: Пустовалова А. А. Алла Александровна
Baskı/Yayın Bilgisi: (Томск, [Б. и.], 2017)

Исследования тонких пленок Cu2S, предназначенных для получения P-Cu2S/N-ZnO гетеропереходов фотовольтаического назначения
Yazar:: Шлома Ю. П.
Baskı/Yayın Bilgisi: (2014)

Диэлектрические пленки для ИС
Yazar:: Саркаров Т. Э.
Baskı/Yayın Bilgisi: (Махачкала, ДГТУ, 2021)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
Yazar:: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Baskı/Yayın Bilgisi: (Томск, [Б. и.], 2016)

Вакуумное нанесение тонких пленок
Yazar:: Данилин Б. С. Борис Степанович
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, Энергия, 1967)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
Yazar:: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Baskı/Yayın Bilgisi: (Томск, 2016)

Выращивание кристаллов: выращивание кристаллических пленок методом магнетронного напыления лабораторный практикум
Yazar:: Пархоменко Ю. Н.
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, МИСИС, 2017)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
Yazar:: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Baskı/Yayın Bilgisi: (Томск, [Б. и.], 2016)

Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH[4] и последующей термообработкой автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 1.3.8
Yazar:: Прокопьев А. Р. Айсен Русланович
Baskı/Yayın Bilgisi: (Томск, 2023)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
Yazar:: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Baskı/Yayın Bilgisi: (Томск, 2016)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
Yazar:: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Baskı/Yayın Bilgisi: (Томск, 2018)

Генераторы низкотемпературной плазмы
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, Наука, 1969)

Влияние плазмы атмосферного давления на изменение коэффициента пропускания видимого света тонких пленок поликапролактона
Yazar:: Филиппова Е. О. Екатерина Олеговна
Baskı/Yayın Bilgisi: (2021)

Микроструктурирование тонких пленок
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, Наука, 1991)

Применение низкотемпературной плазмы в химии
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, Наука, 1981)

Диагностика низкотемпературной плазмы
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, Наука, 1979)

Физические методы нанесения нанопокрытий учебник для вузов
Yazar:: Мухин В. С. Виктор Сергеевич
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, Юрайт, 2025)

Т. 2
Baskı/Yayın Bilgisi: (1977)

Влияние высокотемпературного отжига и обработка в кислородной плазме на свойства тонких пленок оксида галлия
Yazar:: Вишникина В. В.
Baskı/Yayın Bilgisi: (2012)