Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок
| Autore principale: | |
|---|---|
| Lingua: | russo |
| Pubblicazione: |
Москва, Энергоатомиздат, 1989
|
| Soggetti: | |
| Natura: | Libro |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=63092 |