Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок

Bibliographic Details
Main Author:	Данилин Б. С. Борис Степанович
Published:	Москва, Энергоатомиздат, 1989
Subjects:	тонкопленочные технологии применение тонкие пленки низкотемпературная плазма осаждение тонких пленок травление
Format:	Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=63092

Similar Items