|
|
|
|
| LEADER |
00000nam0a2200000 4500 |
| 001 |
63092 |
| 005 |
20231031064036.0 |
| 010 |
|
|
|a 5283039390
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\book\66935
|
| 090 |
|
|
|a 63092
|
| 100 |
|
|
|a 20040429d1989 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a z 001zy
|
| 200 |
1 |
|
|a Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок
|f Б. С. Данилин
|
| 210 |
|
|
|a Москва
|c Энергоатомиздат
|d 1989
|
| 215 |
|
|
|a 328 с.
|c ил.
|
| 320 |
|
|
|a Библиогр.: с. 316-324.
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкопленочные технологии
|
| 610 |
1 |
|
|a применение
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкие пленки
|
| 610 |
1 |
|
|a низкотемпературная плазма
|
| 610 |
1 |
|
|a осаждение тонких пленок
|
| 610 |
1 |
|
|a травление
|
| 675 |
|
|
|a 539.23
|v 3
|
| 700 |
|
1 |
|a Данилин
|b Б. С.
|g Борис Степанович
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20040429
|g PSBO
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20091215
|g PSBO
|
| 900 |
|
|
|a Основы электротехнологий и электротехнологические процессы и аппараты
|
| 900 |
|
|
|a Плазменные покрытия
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
