Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок
| Main Author: | |
|---|---|
| Published: |
Москва, Энергоатомиздат, 1989
|
| Subjects: | |
| Format: | Book |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=63092 |
| Physical Description: | 328 с. ил. |
|---|---|
| ISBN: | 5283039390 |