Features of self-sustained magnetron sputtering of evaporating metal target

Features of self-sustained magnetron sputtering of evaporating metal target

Bibliographic Details
Parent link:	Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019): 14th International Conference, September 15–21, 2019, Tomsk, Russia/ National Research Tomsk Polytechnic University (TPU) ; eds. Yu. D. Korolev, N. N. Koval. [С. 277].— , 2019
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга
Other Authors:	Bleykher (Bleicher) G. A. Galina Alekseevna, Yuryeva A. V. Alena Victorovna, Shabunin A. S. Artem Sergeevich, Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich, Grudinin V. A. Vladislav Alekseevich
Summary:	Заглавие с титульного экрана
Language:	English
Published:	2019
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ магнетронное распыление металлические мишени магнетроны осаждение покрытия самораспыление магнетронные распылительные системы
Online Access:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/57759
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=630890

Similar Items

Влияние самораспыления на скорости осаждения медных покрытий при работе магнетрона с испаряющейся мишенью
Published: (2018)

Исследование особенностей режима самораспыления при работе магнетронных распылительных систем с испаряющимися металлическими мишенями
Published: (2020)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью
by: Рогожников Д. С.
Published: (2016)

Controlling the Properties of Metal Films Deposited Using Magnetron Sputtering Systems with Evaporative Targets
Published: (2019)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
by: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Published: (Томск, 2017)

Magnetron Discharge in the Diode with a Liquid-Metal Target
Published: (2004)

Metal Coatings Deposition Using Hot Target Magnetrons
Published: (2019)

Анализ возможностей магнетронных распылительных систем для высокоскоростного осаждения функциональных покрытий
by: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Published: (2020)

Aluminum films deposition by magnetron sputtering systems: Influence of target state and pulsing unit
Published: (2016)

Магнетронная распылительная система на жидкофазных и твёрдых мишенях в сочетании с внешним пучком ускоренных ионов
by: Жукова М. А.
Published: (2007)

Magnetron sputtering with hot solid target: thermal processes and erosion
Published: (2016)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
by: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Published: (Томск, 2018)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
by: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Published: (Томск, 2017)

Nickel and Chromium Deposition by Hot Target Magnetron Sputtering
Published: (2019)

Влияние плотности мощности магнетронного диода на скорость осаждения и фазовый состав CrNX покрытий
by: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Published: (2021)

Deposition of the low resistive ITO-films by means of reactive magnetron sputtering of the In/Sn target on the cold substrate
Published: (2016)

High-rate deposition of chromium coatings by magnetron sputtering
Published: (2019)

Hot target magnetron sputtering for ferromagnetic films deposition
Published: (2018)

Characterzations of nitrogen-doped titanium dioxide films prepared by reactive magnetron sputtering deposition
by: Pichugin V. F. Vladimir Fyodorovich
Published: (2016)

High-rate magnetron sputtering with hot target
Published: (2016)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
by: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Published: (Томск, [Б. и.], 2017)

Calcium Phosphate Targets for RF Magnetron Sputtering of Biocoatings
Published: (2019)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
by: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Published: (Томск, [Б. и.], 2017)

Energy and substance transfer in magnetron sputtering systems with liquid-phase target
Published: (2016)

The energy flux onto substrate during coating deposition using magnetron with liquid metal target
by: Bleykher (Bleicher) G. A. Galina Alekseevna
Published: (2016)

Investigation of deposition efficiency increase mechanisms using pulsed magnetron sputteringsystems with hot target
Published: (2016)

Сравнительный анализ производительности и энергоэффективности получения металлических покрытий с использованием мощных импульсных ионных пучков и плазмы магнетронного разряда
by: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Published: (2012)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
by: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Published: (Томск, 2018)

The role of thermal processes and target evaporation in formation of self-sputtering mode for copper magnetron sputtering
Published: (2018)

Angular thickness distribution and target utilization for hot Ni target magnetron sputtering
by: Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich
Published: (2018)

Hot target magnetron sputtering enhanced by RF-ICP source for CrNx coatings deposition
Published: (2021)

Peculiarities of metal coatings deposition using magnetron sputtering systems with hot and evaporative targets
Published: (2018)

Кн. 1: Введение в физику и технику магнетронного распыления
Published: (2008)

Deposition of calcium phosphate coatings using radio frequency magnetron sputtering of substituted β-tricalcium phosphate targets
Published: (2018)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
by: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Published: (Томск, [Б. и.], 2018)

PLLA scaffold modification using magnetron sputtering of the copper target to provide antibacterial properties
Published: (2017)

The properties of Cu films deposited by high rate magnetron sputtering from a liquid target
Published: (2019)

Formation of bioactive coatings by radio frequency magnetron sputtering using various calcium phosphate targets and working gases
by: Fedotkin A. Yu. Aleksandr Yurjevich
Published: (2019)

Высокоскоростное магнетронное осаждение покрытий нитрида хрома
by: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Published: (2020)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
by: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Published: (Томск, [Б. и.], 2018)