Features of self-sustained magnetron sputtering of evaporating metal target; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)

Bibliographic Details
Parent link:	Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019).— 2019.— [С. 277]
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга
Other Authors:	Bleykher (Bleicher) G. A. Galina Alekseevna, Yuryeva A. V. Alena Victorovna, Shabunin A. S. Artem Sergeevich, Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich, Grudinin V. A. Vladislav Alekseevich
Summary:	Заглавие с титульного экрана
Language:	English
Published:	2019
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ магнетронное распыление металлические мишени магнетроны осаждение покрытия самораспыление магнетронные распылительные системы
Online Access:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/57759
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=630890

Internet