Features of self-sustained magnetron sputtering of evaporating metal target; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)

Detalhes bibliográficos
Parent link:	Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019).— 2019.— [С. 277]
Autor Corporativo:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга
Outros Autores:	Bleykher (Bleicher) G. A. Galina Alekseevna, Yuryeva A. V. Alena Victorovna, Shabunin A. S. Artem Sergeevich, Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich, Grudinin V. A. Vladislav Alekseevich
Resumo:	Заглавие с титульного экрана
Idioma:	inglês
Publicado em:	2019
Assuntos:	электронный ресурс труды учёных ТПУ магнетронное распыление металлические мишени магнетроны осаждение покрытия самораспыление магнетронные распылительные системы
Acesso em linha:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/57759
Formato:	Recurso Electrónico Capítulo de Livro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=630890

Internet