Features of self-sustained magnetron sputtering of evaporating metal target; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)

Features of self-sustained magnetron sputtering of evaporating metal target; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)

Sonraí bibleagrafaíochta
Parent link:Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019).— 2019.— [С. 277]
Údar corparáideach: Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга
Rannpháirtithe: Bleykher (Bleicher) G. A. Galina Alekseevna, Yuryeva A. V. Alena Victorovna, Shabunin A. S. Artem Sergeevich, Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich, Grudinin V. A. Vladislav Alekseevich
Achoimre:Заглавие с титульного экрана
Teanga:Béarla
Foilsithe / Cruthaithe: 2019
Ábhair:
электронный ресурс
труды учёных ТПУ
магнетронное распыление
металлические мишени
магнетроны
осаждение
покрытия
самораспыление
магнетронные распылительные системы
Rochtain ar líne:http://earchive.tpu.ru/handle/11683/57759
Formáid: Leictreonach Caibidil leabhair
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=630890
Cur síos
Achoimre:Заглавие с титульного экрана

Míreanna comhchosúla