Features of self-sustained magnetron sputtering of evaporating metal target
| Parent link: | Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019): 14th International Conference, September 15–21, 2019, Tomsk, Russia/ National Research Tomsk Polytechnic University (TPU) ; eds. Yu. D. Korolev, N. N. Koval. [С. 277].— , 2019 |
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| 団体著者: | |
| その他の著者: | , , , , |
| 要約: | Заглавие с титульного экрана |
| 出版事項: |
2019
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| 主題: | |
| オンライン・アクセス: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/57759 |
| フォーマット: | 電子媒体 図書の章 |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=630890 |
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