Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга, Bleykher G. A. Galina Alekseevna, Yuryeva A. V. Alena Victorovna, Shabunin A. S. Artem Sergeevich, Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich, & Grudinin V. A. Vladislav Alekseevich. (2019). Features of self-sustained magnetron sputtering of evaporating metal target; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019). 2019.
Citace podle Chicago (17th ed.)Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга, Bleykher G. A. Galina Alekseevna, Yuryeva A. V. Alena Victorovna, Shabunin A. S. Artem Sergeevich, Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich, a Grudinin V. A. Vladislav Alekseevich. Features of Self-sustained Magnetron Sputtering of Evaporating Metal Target; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019). 2019, 2019.
Citace podle MLA (9th ed.)Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга, et al. Features of Self-sustained Magnetron Sputtering of Evaporating Metal Target; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019). 2019, 2019.