Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга, Bleykher G. A. Galina Alekseevna, Yuryeva A. V. Alena Victorovna, Shabunin A. S. Artem Sergeevich, Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich, & Grudinin V. A. Vladislav Alekseevich. (2019). Features of self-sustained magnetron sputtering of evaporating metal target; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019). 2019.
Chicago Style (17th ed.) CitationНациональный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга, Bleykher G. A. Galina Alekseevna, Yuryeva A. V. Alena Victorovna, Shabunin A. S. Artem Sergeevich, Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich, and Grudinin V. A. Vladislav Alekseevich. Features of Self-sustained Magnetron Sputtering of Evaporating Metal Target; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019). 2019, 2019.
MLA (9th ed.) CitationНациональный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга, et al. Features of Self-sustained Magnetron Sputtering of Evaporating Metal Target; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019). 2019, 2019.