High-rate deposition of chromium coatings by magnetron sputtering

High-rate deposition of chromium coatings by magnetron sputtering

Bibliographische Detailangaben
Parent link:	Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019): 14th International Conference, September 15–21, 2019, Tomsk, Russia/ National Research Tomsk Polytechnic University (TPU) ; eds. Yu. D. Korolev, N. N. Koval. [С. 192].— , 2019
Körperschaft:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга
Weitere Verfasser:	Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich, Bleykher (Bleicher) G. A. Galina Alekseevna, Grudinin V. A. Vladislav Alekseevich, Krivobokov V. P. Valery Pavlovich, Bestetti M. Massimiliano
Zusammenfassung:	Заглавие с титульного экрана
Sprache:	Englisch
Veröffentlicht:	2019
Schlagworte:	электронный ресурс труды учёных ТПУ высокоскоростное осаждение хромовые покрытия магнетронное распыление мишени подложки
Online-Zugang:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/57740
Format:	Elektronisch Buchkapitel
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=630873

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