High-rate deposition of chromium coatings by magnetron sputtering

Bibliographic Details
Parent link:	Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019): 14th International Conference, September 15–21, 2019, Tomsk, Russia/ National Research Tomsk Polytechnic University (TPU) ; eds. Yu. D. Korolev, N. N. Koval. [С. 192].— , 2019
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга
Other Authors:	Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich, Bleykher (Bleicher) G. A. Galina Alekseevna, Grudinin V. A. Vladislav Alekseevich, Krivobokov V. P. Valery Pavlovich, Bestetti M. Massimiliano
Summary:	Заглавие с титульного экрана
Published:	2019
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ высокоскоростное осаждение хромовые покрытия магнетронное распыление мишени подложки
Online Access:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/57740
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=630873

Internet