|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
630872 |
| 005 |
20231102024508.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\conf\32435
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\conf\32432
|
| 090 |
|
|
|a 630872
|
| 100 |
|
|
|a 20200130d2019 k y0rusy50 ba
|
| 101 |
0 |
|
|a eng
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a y z 101zy
|
| 135 |
|
|
|a drgn ---uucaa
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|
| 182 |
|
0 |
|a b
|
| 200 |
1 |
|
|a Formation of the silicon coating on the NiTi substrate by magnetron sputteringi
|f A. V. Luchin, K. V. Krukovskii, O. A. Kashin
|
| 203 |
|
|
|a Текст
|c электронный
|
| 230 |
|
|
|a 1 компьютерный файл (pdf; 626 Kb)
|
| 300 |
|
|
|a Заглавие с титульного экрана
|
| 320 |
|
|
|a [Библиогр.: с. 190 (1 назв.)]
|
| 463 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\conf\32407
|t Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)
|o 14th International Conference, September 15–21, 2019, Tomsk, Russia
|o abstracts
|f National Research Tomsk Polytechnic University (TPU) ; eds. Yu. D. Korolev, N. N. Koval
|v [С. 190]
|d 2019
|
| 610 |
1 |
|
|a электронный ресурс
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 610 |
1 |
|
|a формирование
|
| 610 |
1 |
|
|a покрытия
|
| 610 |
1 |
|
|a подложки
|
| 610 |
1 |
|
|a магнетронное распыление
|
| 610 |
1 |
|
|a кремний
|
| 700 |
|
1 |
|a Luchin
|b A. V.
|
| 701 |
|
1 |
|a Krukovskii
|b K. V.
|
| 701 |
|
1 |
|a Kashin
|b O. A.
|
| 712 |
0 |
2 |
|a National Research Tomsk Polytechnic University
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\18773
|9 27197
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20200131
|g RCR
|
| 856 |
4 |
|
|u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/57739
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
