Characterization of magnetron plasma using optical spectroscopy and collisional-radiative model of nitrogen
| Parent link: | Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019): 14th International Conference, September 15–21, 2019, Tomsk, Russia/ National Research Tomsk Polytechnic University (TPU) ; eds. Yu. D. Korolev, N. N. Koval. [С. 66].— , 2019 |
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| Körperschaft: | |
| Weitere Verfasser: | , , , |
| Zusammenfassung: | Заглавие с титульного экрана |
| Sprache: | Englisch |
| Veröffentlicht: |
2019
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| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/57752 |
| Format: | Elektronisch Buchkapitel |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=630857 |