|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
630856 |
| 005 |
20231220124100.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\conf\32408
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\conf\25208
|
| 090 |
|
|
|a 630856
|
| 100 |
|
|
|a 20200129d2019 k y0rusy50 ba
|
| 101 |
0 |
|
|a eng
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a y z 101zy
|
| 135 |
|
|
|a drgn ---uucaa
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|
| 182 |
|
0 |
|a b
|
| 200 |
1 |
|
|a Temperature gradients in targets with high-intensity implantation and their influence on the characteristics of ion-modified layers
|f A. I. Ryabchikov [et al.]
|
| 203 |
|
|
|a Текст
|c электронный
|
| 300 |
|
|
|a Заглавие с титульного экрана
|
| 463 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\conf\32407
|t Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)
|o 14th International Conference, September 15–21, 2019, Tomsk, Russia
|o abstracts
|f National Research Tomsk Polytechnic University (TPU) ; eds. Yu. D. Korolev, N. N. Koval
|v [С. 51]
|d 2019
|
| 610 |
1 |
|
|a электронный ресурс
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 610 |
1 |
|
|a имплантация
|
| 610 |
1 |
|
|a мишени
|
| 610 |
1 |
|
|a ионно-модифицированные слои
|
| 610 |
1 |
|
|a температурные поля
|
| 610 |
1 |
|
|a металлические мишени
|
| 610 |
1 |
|
|a интенсивные пучки
|
| 610 |
1 |
|
|a ионы металлов
|
| 610 |
1 |
|
|a температурные градиенты
|
| 701 |
|
1 |
|a Ryabchikov
|b A. I.
|c Professor of Tomsk Polytechnic University, Doctor of physical and mathematical sciences
|c physicist
|f 1950-
|g Aleksandr Ilyich
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\30912
|
| 701 |
|
1 |
|a Lopatin
|b I. V.
|
| 701 |
|
1 |
|a Ananin
|b P. S.
|c physicist
|c senior researcher of Tomsk Polytechnic University, candidate of physical and mathematical sciences
|f 1942-
|g Petr Semenovich
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\35673
|
| 701 |
|
1 |
|a Bleicher
|b G. A.
|c physicist
|c Professor of Tomsk Polytechnic University, Doctor of Physical and Mathematical Sciences
|f 1961-
|g Galina Alekseevna
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\31496
|
| 701 |
|
1 |
|a Ivanova
|b A. I.
|c physicist
|c Associate Scientist of Tomsk Polytechnic University
|f 1987-
|g Anna Ivanovna
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\36986
|9 20002
|
| 701 |
|
1 |
|a Koval
|b T. V.
|c mathematician, physicist
|c Professor of Tomsk Polytechnic University, Doctor of physical and mathematical sciences
|f 1953-
|g Tamara Vasilievna
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\34227
|
| 701 |
|
1 |
|a Modebadze
|b G. S.
|c Specialist in the field of nuclear technologies
|c Engineer of Tomsk Polytechnic University
|f 1994-
|g Georgy Slavovich
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\44999
|
| 701 |
|
1 |
|a Sivin
|b D. O.
|c physicist
|c Senior researcher of Tomsk Polytechnic University, Candidate of technical sciences
|f 1978-
|g Denis Olegovich
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\34240
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Национальный исследовательский Томский политехнический университет
|b Инженерная школа ядерных технологий
|b Научная лаборатория высокоинтенсивной имплантации ионов
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\23698
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Национальный исследовательский Томский политехнический университет
|b Инженерная школа ядерных технологий
|b Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\23561
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Национальный исследовательский Томский политехнический университет
|b Инженерная школа информационных технологий и робототехники
|b Отделение информационных технологий
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\23515
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20200131
|g RCR
|
| 856 |
4 |
|
|u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/57741
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
