Temperature gradients in targets with high-intensity implantation and their influence on the characteristics of ion-modified layers

Temperature gradients in targets with high-intensity implantation and their influence on the characteristics of ion-modified layers

Bibliographic Details
Parent link:	Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019): 14th International Conference, September 15–21, 2019, Tomsk, Russia/ National Research Tomsk Polytechnic University (TPU) ; eds. Yu. D. Korolev, N. N. Koval. [С. 51].— , 2019
Corporate Authors:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научная лаборатория высокоинтенсивной имплантации ионов, Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга, Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа информационных технологий и робототехники Отделение информационных технологий
Other Authors:	Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich, Lopatin I. V., Ananin P. S. Petr Semenovich, Bleicher G. A. Galina Alekseevna, Ivanova A. I. Anna Ivanovna, Koval T. V. Tamara Vasilievna, Modebadze G. S. Georgy Slavovich, Sivin D. O. Denis Olegovich
Summary:	Заглавие с титульного экрана
Published:	2019
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ имплантация мишени ионно-модифицированные слои температурные поля металлические мишени интенсивные пучки ионы металлов температурные градиенты
Online Access:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/57741
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=630856

Internet

http://earchive.tpu.ru/handle/11683/57741