Сравнительный анализ свойств покрытий на основе углерода, полученных различными PVD и CVD методами осаждения

Detalhes bibliográficos
Parent link:Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине (ФТПНПМ-2019).— 2019.— [С. 179-180]
Autor Corporativo: Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга
Outros Autores: Корженко Д. В. Дмитрий Владимирович, Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич, Емлин Д. Р., Плотников С. А.
Resumo:Заглавие с экрана
Idioma:russo
Publicado em: 2019
Colecção:Радиационные и пучково-плазменные технологии в науке, технике и медицине
Assuntos:
Acesso em linha:http://earchive.tpu.ru/handle/11683/56818
Formato: Recurso Electrónico Capítulo de Livro
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=630396

MARC

LEADER 00000naa2a2200000 4500
001 630396
005 20250904135231.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\conf\31391 
035 |a RU\TPU\conf\31389 
090 |a 630396 
100 |a 20191030d2019 k y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
105 |a y z 101zy 
135 |a drgn ---uucaa 
181 0 |a i  
182 0 |a b 
200 1 |a Сравнительный анализ свойств покрытий на основе углерода, полученных различными PVD и CVD методами осаждения  |f Д. В. Корженко [и др.] 
203 |a Текст  |c электронный 
225 1 |a Радиационные и пучково-плазменные технологии в науке, технике и медицине 
300 |a Заглавие с экрана 
320 |a [Библиогр.: с. 180 (4 назв.)] 
463 0 |0 (RuTPU)RU\TPU\conf\30850  |t Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине (ФТПНПМ-2019)  |o сборник научных трудов Международной научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 30 сентября - 04 октября 2019 г.  |f Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. А. Г. Горюнова [и др.]  |v [С. 179-180]  |d 2019 
610 1 |a труды учёных ТПУ 
610 1 |a электронный ресурс 
610 1 |a сравнительный анализ 
610 1 |a покрытия 
610 1 |a углерод 
610 1 |a методы осаждения 
610 1 |a химическое осаждение 
610 1 |a физическое осаждение 
701 1 |a Корженко  |b Д. В.  |c физик  |c инженер Томского политехнического университета  |f 1988-  |g Дмитрий Владимирович  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\37359 
701 1 |a Юрьев  |b Ю. Н.  |c специалист в области водородной энергетики  |c заведующий лабораторией Томского политехнического университета, младший научный сотрудник  |f 1984-  |g Юрий Николаевич  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\30543  |9 14839 
701 1 |a Емлин  |b Д. Р. 
701 1 |a Плотников  |b С. А. 
712 0 2 |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет  |b Инженерная школа ядерных технологий  |b Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга  |3 (RuTPU)RU\TPU\col\23561 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20191112  |g RCR 
856 4 |u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/56818 
942 |c BK