Сравнительный анализ свойств покрытий на основе углерода, полученных различными PVD и CVD методами осаждения

Сравнительный анализ свойств покрытий на основе углерода, полученных различными PVD и CVD методами осаждения

Bibliographic Details
Parent link:	Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине (ФТПНПМ-2019): сборник научных трудов Международной научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 30 сентября - 04 октября 2019 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. А. Г. Горюнова [и др.]. [С. 179-180].— , 2019
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга
Other Authors:	Корженко Д. В. Дмитрий Владимирович, Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич, Емлин Д. Р., Плотников С. А.
Summary:	Заглавие с экрана
Published:	2019
Series:	Радиационные и пучково-плазменные технологии в науке, технике и медицине
Subjects:	труды учёных ТПУ электронный ресурс сравнительный анализ покрытия углерод методы осаждения химическое осаждение физическое осаждение
Online Access:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/56818
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=630396

Internet

http://earchive.tpu.ru/handle/11683/56818