Подбор режимов работы радиочастотного источника оптически-эмиссионного спектрометра тлеющего разряда GD-Profiler 2 для анализа тонких пленок

Подбор режимов работы радиочастотного источника оптически-эмиссионного спектрометра тлеющего разряда GD-Profiler 2 для анализа тонких пленок

Bibliographic Details
Parent link:	Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине (ФТПНПМ-2019): сборник научных трудов Международной научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 30 сентября - 04 октября 2019 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. А. Г. Горюнова [и др.]. [С. 55].— , 2019
Main Author:	Ломыгин А. Д. Антон Дмитриевич
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Отделение экспериментальной физики
Other Authors:	Лаптев Р. С. Роман Сергеевич
Summary:	Заглавие с экрана
Published:	2019
Series:	Инновационные материалы и технологии современной энергетики
Subjects:	труды учёных ТПУ электронный ресурс режимы работы радиочастотные источники спектрометры тлеющие разряды тонкие пленки покрытия эмиссионная спектроскопия оптическая спектроскопия
Online Access:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/56737
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=630322

Internet

http://earchive.tpu.ru/handle/11683/56737