Формирование градиентного слоя хром-цирконий с помощью магнетронного распыления

Bibliographic Details
Parent link:Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XVI Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 23-26 апреля 2019 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. И. А. Курзиной, Г. А. Вороновой.— , 2019
Т. 1 : Физика.— 2019.— [С. 274-276]
Main Author: Ромбаева М. Р.
Corporate Author: Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга
Other Authors: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович (727)
Summary:Заглавие с экрана
The gradient Cr-Zr layer was formed by means of magnetron sputtering and ion mixing. There is shown that the optimal ion fluence on Zr substrate with Cr film was 8·1019 ion/m{2}. At higher ion dose, the intensive sputtering of deposited coating was observed.
Published: 2019
Subjects:
Online Access:http://earchive.tpu.ru/handle/11683/55848
Format: Electronic Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=629700