Оптимизация требований к порошкам цинкзамещенного гидроксиапатита с целью обеспечения фазового состава мишеней для ВЧ магнетронного распыления

Bibliographic Details
Parent link:Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XVI Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 23-26 апреля 2019 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. И. А. Курзиной, Г. А. Вороновой.— , 2019
Т. 1 : Физика.— 2019.— [С. 67-69]
Main Author: Болат-оол А. А.
Corporate Author: Национальный исследовательский Томский политехнический университет Исследовательская школа физики высокоэнергетических процессов
Other Authors: Просолов К. А. Константин Александрович (727), Химич М. А., Шаркеев Ю. П. Юрий Петрович
Summary:Заглавие с экрана
In the present study, target sintering using the powders of Zn-substituted hydroxyapatites was described in detail. It was shown that the powders' specific surface influencing the parameters of sintering that involves uniaxial pressing and annealing. The level of crystallinity of initial Zn-substituted hydroxyapatite powder and targets for RF-magnetron sputtering sintered at various temperature were analyzed using X-ray diffraction. It was found that the sintering leads to removing of zinc oxide phase. The one stage target sintering in the air with desired phase composition is possible by using powders characterized by a specific surface of 40-60 m{2}/g.
Published: 2019
Subjects:
Online Access:http://earchive.tpu.ru/handle/11683/55801
Format: Electronic Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=629657