Влияние типа мишени магнетронного диода на оптические свойства плёнок кремния

Влияние типа мишени магнетронного диода на оптические свойства плёнок кремния

Detalles Bibliográficos
Parent link:Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XVI Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 23-26 апреля 2019 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. И. А. Курзиной, Г. А. Вороновой.— , 2019
Т. 1 : Физика.— 2019.— [С. 64-66]
Autor principal: Бельгебаева Д. Е.
Autor Corporativo: Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга
Otros Autores: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович (727)
Sumario:Заглавие с экрана
Silicon films were obtained by magnetron sputtering of Si targets with Al and P dopants. There is shown higher deposition rates (up to 30%) for Si(P) coatings that is caused by higher sputtering yeild. These films are more transparent in compasrison with Si(Al) films in visible range.
Lenguaje:ruso
Publicado: 2019
Materias:
электронный ресурс
труды учёных ТПУ
мишени
магнетронные диоды
оптические свойства
пленки
кремний
Acceso en línea:http://earchive.tpu.ru/handle/11683/55800
Formato: Electrónico Capítulo de libro
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=629656

Ejemplares similares

Ejemplares similares