Влияние типа мишени магнетронного диода на оптические свойства плёнок кремния

Влияние типа мишени магнетронного диода на оптические свойства плёнок кремния

Bibliographic Details
Parent link:	Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XVI Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 23-26 апреля 2019 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. И. А. Курзиной, Г. А. Вороновой.— , 2019 Т. 1 : Физика.— 2019.— [С. 64-66]
Main Author:	Бельгебаева Д. Е.
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга
Other Authors:	Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович (727)
Summary:	Заглавие с экрана Silicon films were obtained by magnetron sputtering of Si targets with Al and P dopants. There is shown higher deposition rates (up to 30%) for Si(P) coatings that is caused by higher sputtering yeild. These films are more transparent in compasrison with Si(Al) films in visible range.
Published:	2019
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ мишени магнетронные диоды оптические свойства пленки кремний
Online Access:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/55800
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=629656

Similar Items

Влияние ИМПА магнетронного диода свойства никелевых пленок
by: Целовальникова А. Е.
Published: (2019)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
by: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Published: (Томск, 2018)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
by: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Published: (Томск, 2018)

Распыление мишени при ассистировании магнетронного разряда ионным пучком
by: Жуков В. В. Владислав Вячеславович
Published: (2004)

Исследование характеристик медных покрытий полученных с помощью жидкофазного магнетронного диода
by: Войнов Р. Ю.
Published: (2009)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
by: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Published: (Томск, [Б. и.], 2018)

Исследование характеристик плазмы ВЧ-магнетронного разряда при распылении мишени на основе гидроксиапатита
by: Мельников Е. С. Евгений Сергеевич
Published: (2014)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
by: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Published: (Томск, [Б. и.], 2018)

Влияние плотности мощности магнетронного диода на скорость осаждения и фазовый состав CrNX покрытий
by: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Published: (2021)

Свойства магнетронного разряда на постоянном токе
Published: (2005)

Исследование влияния парциального давления на спектральный состав и процесс распыления реактивного магнетронного разряда плазмы при распылении мишени титана
by: Сунь Чжилэй
Published: (2014)

О влиянии условий осаждения на механические и оптические свойства кремний-углеродных плёнок
by: Гренадёров А. С.
Published: (2018)

Влияние лазерной обработки на свойства плёнок аморфного кремния
Published: (2011)

Aluminum films deposition by magnetron sputtering systems: Influence of target state and pulsing unit
Published: (2016)

Определение энергетического положения рекомбинационного уровня в базе диода, полученного из термозакаленного кремния
Published: (1967)

Свойства тонких пленок сульфидов вольфрама и меди, полученных методом магнетронного распыления
by: Ан В. В. Владимир Вилорьевич
Published: (2016)

Микроструктура покрытия на основе алюминидов никеля, полученного методом магнетронного напыления сборных мишеней
by: Гирш А. В.
Published: (2017)

Оптические свойства пленок ITO
by: Петрюк А. Е.
Published: (2018)

Влияние условий осаждения на механические и оптические свойства кремний-углеродных пленок
Published: (2017)

Controlling the Properties of Metal Films Deposited Using Magnetron Sputtering Systems with Evaporative Targets
Published: (2019)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
by: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Published: (Томск, 2017)

Магнетронная распылительная система на жидкофазных и твёрдых мишенях в сочетании с внешним пучком ускоренных ионов
by: Жукова М. А.
Published: (2007)

Оптические характеристики плазмы магнетронного разряда в условиях осаждения оксидов и оксинитридов титана
by: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Published: (2010)

Влияние материала промежуточного подслоя на деградацию тонких плёнок CU на различных подложках в процессе термического отжига
by: Лязгин А. О.
Published: (2010)

Влияние самораспыления на скорости осаждения медных покрытий при работе магнетрона с испаряющейся мишенью
Published: (2018)

Оптические свойства пленок GAAS, осажденных импульсной ионной абляцией
by: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Published: (2011)

Исследование особенностей режима самораспыления при работе магнетронных распылительных систем с испаряющимися металлическими мишенями
Published: (2020)

Формирование поверхностных слоёв на основе пористого кремния, выполняющих роль контейнерных материалов для лекарственных средств
by: Лучин А. В.
Published: (2022)

Оптические свойства пленок GaAs, осажденных импульсной ионной абляцией
by: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Published: (2010)

Технология производства полупроводниковых приборов
by: Гаврилов Р. А. Роман Александрович
Published: (Ленинград, Энергия, 1968)

Выращивание кристаллов: выращивание кристаллических пленок методом магнетронного напыления лабораторный практикум
by: Пархоменко Ю. Н.
Published: (Москва, МИСИС, 2017)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью
by: Рогожников Д. С.
Published: (2016)

Antibacterial PLGA and PCL membranes, modified by magnetron sputtering method of copper target
by: Badaraev A. D. Arsalan Dorzhievich
Published: (2021)

Features of self-sustained magnetron sputtering of evaporating metal target
Published: (2019)

Magnetron deposition of TCO films using ion beam
by: Asainov O. Kh. Oleg Khaydarovich
Published: (2015)

Оптические свойства наноструктурированных углерода и кремния, композитов на их основе автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
by: Кан В. Е. Василий Евгеньевич
Published: (Омск, 2012)

Исследование адгезионных свойств кремнийсодержащего кальций-фосфатного покрытия, осажденного методом ВЧ-магнетронного распыления на нагретую подложку
Published: (2013)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
by: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Published: (Томск, 2016)

Кальцийфосфатные мишени для ВЧ магнетронного распыления биопокрытий
Published: (2019)

Осаждение барьерных слоев на основе нитрида титана с помощью дуальной МРС
by: Киселева Д. В.
Published: (2015)