Влияние типа мишени магнетронного диода на оптические свойства плёнок кремния; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика

Влияние типа мишени магнетронного диода на оптические свойства плёнок кремния; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика

Xehetasun bibliografikoak
Parent link:	Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XVI Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 23-26 апреля 2019 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. И. А. Курзиной, Г. А. Вороновой.— , 2019 Т. 1 : Физика.— 2019.— [С. 64-66]
Egile nagusia:	Бельгебаева Д. Е.
Erakunde egilea:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга
Beste egile batzuk:	Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович (научный руководитель)
Gaia:	Заглавие с экрана Silicon films were obtained by magnetron sputtering of Si targets with Al and P dopants. There is shown higher deposition rates (up to 30%) for Si(P) coatings that is caused by higher sputtering yeild. These films are more transparent in compasrison with Si(Al) films in visible range.
Hizkuntza:	errusiera
Argitaratua:	2019
Gaiak:	электронный ресурс труды учёных ТПУ мишени магнетронные диоды оптические свойства пленки кремний
Sarrera elektronikoa:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/55800
Formatua:	Baliabide elektronikoa Liburu kapitulua
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=629656

Antzeko izenburuak

Влияние ИМПА магнетронного диода свойства никелевых пленок; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
nork: Целовальникова А. Е.
Argitaratua: (2019)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
nork: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Argitaratua: (Томск, 2018)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
nork: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Argitaratua: (Томск, 2018)

Исследование характеристик медных покрытий полученных с помощью жидкофазного магнетронного диода; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1
nork: Войнов Р. Ю.
Argitaratua: (2009)

Исследование характеристик плазмы ВЧ-магнетронного разряда при распылении мишени на основе гидроксиапатита; Перспективы развития фундаментальных наук
nork: Мельников Е. С. Евгений Сергеевич
Argitaratua: (2014)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
nork: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Argitaratua: (Томск, [Б. и.], 2018)

Исследование влияния парциального давления на спектральный состав и процесс распыления реактивного магнетронного разряда плазмы при распылении мишени титана; Перспективы развития фундаментальных наук
nork: Сунь Чжилэй
Argitaratua: (2014)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
nork: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Argitaratua: (Томск, [Б. и.], 2018)

Распыление мишени при ассистировании магнетронного разряда ионным пучком; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 307, № 7
nork: Жуков В. В. Владислав Вячеславович
Argitaratua: (2004)

Влияние плотности мощности магнетронного диода на скорость осаждения и фазовый состав CrNX покрытий; Современные проблемы машиностроения
nork: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Argitaratua: (2021)

Свойства магнетронного разряда на постоянном токе; Ч. 1; Механизм распыления мишени; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 308, № 6
Argitaratua: (2005)

О влиянии условий осаждения на механические и оптические свойства кремний-углеродных плёнок; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
nork: Гренадёров А. С.
Argitaratua: (2018)

Aluminum films deposition by magnetron sputtering systems: Influence of target state and pulsing unit; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 741 : Optoelectronics, Photonics, Engineering and Nanostructures (Saint Petersburg OPEN 2016)
Argitaratua: (2016)

Свойства тонких пленок сульфидов вольфрама и меди, полученных методом магнетронного распыления; Материаловедение; № 9
nork: Ан В. В. Владимир Вилорьевич
Argitaratua: (2016)

Определение энергетического положения рекомбинационного уровня в базе диода, полученного из термозакаленного кремния; Известия вузов. Физика; № 8
Argitaratua: (1967)

Микроструктура покрытия на основе алюминидов никеля, полученного методом магнетронного напыления сборных мишеней; Современные технологии и материалы новых поколений
nork: Гирш А. В.
Argitaratua: (2017)

Оптические свойства пленок ITO; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 2 : Химия
nork: Петрюк А. Е.
Argitaratua: (2018)

Controlling the Properties of Metal Films Deposited Using Magnetron Sputtering Systems with Evaporative Targets; Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2019)
Argitaratua: (2019)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
nork: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Argitaratua: (Томск, 2017)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
nork: Рогожников Д. С.
Argitaratua: (2016)

Выращивание кристаллов: выращивание кристаллических пленок методом магнетронного напыления лабораторный практикум
nork: Пархоменко Ю. Н.
Argitaratua: (Москва, МИСИС, 2017)

Осаждение барьерных слоев на основе нитрида титана с помощью дуальной МРС; Перспективы развития фундаментальных наук
nork: Киселева Д. В.
Argitaratua: (2015)

Магнетронная распылительная система на жидкофазных и твёрдых мишенях в сочетании с внешним пучком ускоренных ионов; Современные техника и технологии; Т. 3
nork: Жукова М. А.
Argitaratua: (2007)

Влияние лазерной обработки на свойства плёнок аморфного кремния; Известия вузов. Физика; Т. 54, № 1/2 : Радиационно-термические эффекты и процессы в неорганических материалах
Argitaratua: (2011)

Оптические свойства пленок GaAs, осажденных импульсной ионной абляцией; ФВЗЧК-2010
nork: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Argitaratua: (2010)

Оптические характеристики плазмы магнетронного разряда в условиях осаждения оксидов и оксинитридов титана; Современные техника и технологии; Т. 3
nork: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Argitaratua: (2010)

Исследование особенностей режима самораспыления при работе магнетронных распылительных систем с испаряющимися металлическими мишенями; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине. Российский и международный опыт подготовки кадров
Argitaratua: (2020)

Формирование поверхностных слоёв на основе пористого кремния, выполняющих роль контейнерных материалов для лекарственных средств; Перспективные материалы конструкционного и функционального назначения
nork: Лучин А. В.
Argitaratua: (2022)

Влияние условий осаждения на механические и оптические свойства кремний-углеродных пленок; Высокие технологии в современной науке и технике (ВТСНТ-2017)
Argitaratua: (2017)

Технология производства полупроводниковых приборов
nork: Гаврилов Р. А. Роман Александрович
Argitaratua: (Ленинград, Энергия, 1968)

Оптические свойства пленок азотосодержащего оксида титана, осажденных магнетронным распылением; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
nork: Сунь Чжилэй
Argitaratua: (2019)

Antibacterial PLGA and PCL membranes, modified by magnetron sputtering method of copper target; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 1093 : Advanced Materials for Engineering and Functional Purposes (AMEFP 2020)
nork: Badaraev A. D. Arsalan Dorzhievich
Argitaratua: (2021)

Features of self-sustained magnetron sputtering of evaporating metal target; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)
Argitaratua: (2019)

Влияние материала промежуточного подслоя на деградацию тонких плёнок CU на различных подложках в процессе термического отжига; Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых
nork: Лязгин А. О.
Argitaratua: (2010)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
nork: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Argitaratua: (Томск, 2016)

Оптические свойства пленок GAAS, осажденных импульсной ионной абляцией; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 3
nork: Кабышев А. В. Александр Васильевич
Argitaratua: (2011)

Вып. 2 : Электронные и колебательные свойства; Физика гидрогенизированного аморфного кремния
Argitaratua: (1988)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
nork: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Argitaratua: (Томск, 2016)

Исследование адгезионных свойств кремнийсодержащего кальций-фосфатного покрытия, осажденного методом ВЧ-магнетронного распыления на нагретую подложку; Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования; № 10
Argitaratua: (2013)

Magnetron deposition of TCO films using ion beam; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 652 : Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2015)
nork: Asainov O. Kh. Oleg Khaydarovich
Argitaratua: (2015)