Влияние типа мишени магнетронного диода на оптические свойства плёнок кремния

Влияние типа мишени магнетронного диода на оптические свойства плёнок кремния

Bibliographic Details
Parent link:	Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XVI Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 23-26 апреля 2019 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. И. А. Курзиной, Г. А. Вороновой.— , 2019 Т. 1 : Физика.— 2019.— [С. 64-66]
Main Author:	Бельгебаева Д. Е.
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга
Other Authors:	Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович (727)
Summary:	Заглавие с экрана Silicon films were obtained by magnetron sputtering of Si targets with Al and P dopants. There is shown higher deposition rates (up to 30%) for Si(P) coatings that is caused by higher sputtering yeild. These films are more transparent in compasrison with Si(Al) films in visible range.
Published:	2019
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ мишени магнетронные диоды оптические свойства пленки кремний
Online Access:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/55800
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=629656

Internet

http://earchive.tpu.ru/handle/11683/55800