Влияние типа мишени магнетронного диода на оптические свойства плёнок кремния
| Parent link: | Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XVI Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 23-26 апреля 2019 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. И. А. Курзиной, Г. А. Вороновой.— , 2019 Т. 1 : Физика.— 2019.— [С. 64-66] |
|---|---|
| Autore principale: | |
| Ente Autore: | |
| Altri autori: | |
| Riassunto: | Заглавие с экрана Silicon films were obtained by magnetron sputtering of Si targets with Al and P dopants. There is shown higher deposition rates (up to 30%) for Si(P) coatings that is caused by higher sputtering yeild. These films are more transparent in compasrison with Si(Al) films in visible range. |
| Lingua: | russo |
| Pubblicazione: |
2019
|
| Soggetti: | |
| Accesso online: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/55800 |
| Natura: | Elettronico Capitolo di libro |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=629656 |
MARC
| LEADER | 00000naa2a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 629656 | ||
| 005 | 20231101133554.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\conf\30376 | ||
| 035 | |a RU\TPU\conf\30374 | ||
| 090 | |a 629656 | ||
| 100 | |a 20190903d2019 k y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus |d eng | |
| 102 | |a RU | ||
| 105 | |a y z 100zy | ||
| 135 | |a drcn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Влияние типа мишени магнетронного диода на оптические свойства плёнок кремния |d Influence of the type of target of the magnetron diode on the optical properties silicon film |f Д. Е. Бельгебаева |g науч. рук. Д. В. Сиделёв | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 230 | |a 1 компьютерный файл (pdf; 281 Kb) | ||
| 300 | |a Заглавие с экрана | ||
| 320 | |a [Библиогр.: с. 66 (2 назв.)] | ||
| 330 | |a Silicon films were obtained by magnetron sputtering of Si targets with Al and P dopants. There is shown higher deposition rates (up to 30%) for Si(P) coatings that is caused by higher sputtering yeild. These films are more transparent in compasrison with Si(Al) films in visible range. | ||
| 461 | 1 | |0 (RuTPU)RU\TPU\conf\30347 |t Перспективы развития фундаментальных наук |l Prospects of Fundamental Sciences Development |o сборник научных трудов XVI Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 23-26 апреля 2019 г. |o в 7 т. |f Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. И. А. Курзиной, Г. А. Вороновой |d 2019 | |
| 463 | 1 | |0 (RuTPU)RU\TPU\conf\30348 |t Т. 1 : Физика |v [С. 64-66] |d 2019 | |
| 510 | 1 | |a Influence of the type of target of the magnetron diode on the optical properties silicon film |z eng | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a мишени | |
| 610 | 1 | |a магнетронные диоды | |
| 610 | 1 | |a оптические свойства | |
| 610 | 1 | |a пленки | |
| 610 | 1 | |a кремний | |
| 610 | 1 | |a оптические свойства | |
| 700 | 1 | |a Бельгебаева |b Д. Е. | |
| 702 | 1 | |a Сиделёв |b Д. В. |c физик |c инженер кафедры Томского политехнического университета |f 1991- |g Дмитрий Владимирович |2 stltpush |4 727 | |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет |b Инженерная школа ядерных технологий |b Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга |h 7866 |2 stltpush |3 (RuTPU)RU\TPU\col\23561 |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20190925 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/55800 | |
| 942 | |c BK | ||