Структура пленок, напыляемых в магнитном поле путем магнетронного распыления

Структура пленок, напыляемых в магнитном поле путем магнетронного распыления

Bibliographic Details
Parent link:	Изотопы: технологии, материалы и применение: материалы V Международной научной конференции молодых ученых, аспирантов и студентов, г. Томск, 19-23 ноября 2018 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ). [С. 42].— , 2018
Main Author:	Загузин И. Ю.
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Отделение ядерно-топливного цикла
Other Authors:	Лютиков О. Н. (727), Мышкин В. Ф. Вячеслав Фёдорович
Summary:	Заглавие с титульного экрана
Published:	2018
Series:	Селекция веществ оптическими, электромагнитными, ИЦР, лазерными и плазменными методами. Диагностика и методы анализа веществ и примесей
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ напыление магнитные поля магнетронное распыление тонкие пленки физико-химические процессы изотопный состав
Online Access:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/52381
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=628956

Similar Items

Электропроводность тонких плёнок оксида титана, полученных методом среднечастотного магнетронного распыления
by: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Published: (2009)

Физико-механические свойства тонких плёнок оксида титана, полученных методом магнетронного распыления
by: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Published: (2009)

Влияние процесса распыления на структуру ВЧ-магнетронных тонких пленок
by: Шаронова А. А. Анна Александровна
Published: (2013)

Свойства тонких пленок сульфидов вольфрама и меди, полученных методом магнетронного распыления
by: Ан В. В. Владимир Вилорьевич
Published: (2016)

Исследование свойств тонких пленок Ti–O–N, осажденных методом реактивного магнетронного напыления
by: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
Published: (2018)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
by: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
Published: (Томск, [Б. и.], 2016)

Влияние ИМПА магнетронного диода свойства никелевых пленок
by: Целовальникова А. Е.
Published: (2019)

Исследование поверхностной плотности заряда тонких оксидных покрытий TiO2, полученных методом магнетронного распыления
by: Морозова Н. С. Наталья Сергеевна
Published: (2010)

Свойства тонких покрытий оксида титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления и перспектива их применения в медицине
by: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Published: (2009)

Двухкамерная установка для напыления тонких плёнок в поперечном высокочастотном разряде
by: Строкань Г. П.
Published: (2003)

Свойства пленок оксида танатала, полученных ВЧ магнетронным напылением
by: Петрова Ю. С.
Published: (2009)

Влияние температуры отжига и материала промежуточного подслоя на деградацию тонких плёнок CU на кремниевой и поликоровой подложках
by: Лязгин А. О.
Published: (2009)

Структура и свойства тонких пленок ZrO[2]:Y[2]O[3], формируемых методом магнетронного распыления автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
by: Шипилова А. В. Анна Викторовна
Published: (Томск, 2018)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
by: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
Published: (Томск, [Б. и.], 2016)

Деградация тонких плёнок Ti при знакопеременном изгибе
by: Цао Янь
Published: (2007)

Выращивание кристаллов: выращивание кристаллических пленок методом магнетронного напыления лабораторный практикум
by: Пархоменко Ю. Н.
Published: (Москва, МИСИС, 2017)

Физико-механические характеристики PLLA пленок, модифицированных методом ВЧ-магнетронного распыления
by: Богомолова Н. Н. Наталья Николаевна
Published: (2014)

Получение кальцийфосфатных биосовместимых покрытий методом магнетронного распыления и их свойства
Published: (2006)

Структура и свойства тонких пленок ZrO[2]:Y[2]O[3], формируемых методом магнетронного распыления диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
by: Шипилова А. В. Анна Викторовна
Published: (Томск, 2018)

The Reactive Deposition of TiO[x] Thin Films
by: Sidelev D. V. Dmitry Vladimirovich
Published: (2014)

Magnetron sputtered LSC thin films for solid oxide fuel cell application
Published: (2018)

Исследование пленок азотосодержащего оксида титана осажденных магнетронным распылением
by: Сунь Чжилэй
Published: (2020)

Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства диссертация на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
by: Сунь Чжилэй
Published: (Томск, 2020)

Thin Ni-YSZ films fabricated by magnetron co-sputtering used as anodes for solid oxide fuel cells
Published: (2012)

Структурные особенности и свойства азотсодержащих тонких плёнок диоксида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления, для применения в биомедицине автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
by: Пустовалова А. А. Алла Александровна
Published: (Томск, 2017)

Bias-assisted magnetron sputtering of yttria-stabilised zirconia thin films
Published: (2014)

Structural features of N-containing titanium dioxide thin films deposited by magnetron sputtering
Published: (2017)

Исследования тонких пленок Cu2S, предназначенных для получения P-Cu2S/N-ZnO гетеропереходов фотовольтаического назначения
by: Шлома Ю. П.
Published: (2014)

Магнетронные распылительные системы
by: Данилин Б. С. Борис Степанович
Published: (Москва, Радио и связь, 1982)

Структура и свойства прозрачных проводящих слоев на основе оксида цинка, полученных методом магнетронного распыления нестехиометричных мишеней автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук Спец. 01.04.07
by: Ахмедов А. К. Ахмед Кадиевич
Published: (Нальчик, [Б. и.], 2016)

Смачиваемость поверхности тонких пленок на основе силикатсодержащего гидроксиапатита, полученных методом ВЧ-магнетронного распыления
Published: (2013)

Novel entropy–stabilized ultra high temperature ceramics thin films prepared by magnetron sputtering
Published: (2018)

The oxygen-deficient TiO2 films deposited by a dual magnetron sputtering
Published: (2016)

Структурные особенности и свойства азотсодержащих тонких плёнок диоксида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления, для применения в биомедицине диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
by: Пустовалова А. А. Алла Александровна
Published: (Томск, 2017)

Условие получения однородных наноразмерных резистивных плёнок Ni-Ti методом магнетронного распыления из двух источников
by: Васильев В. А. Валерий Анатольевич
Published: (2014)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
by: Киселева Е. С. Евгения Сергеевна
Published: (Томск, 2016)

Исследование характеристик твердоксидных топливных элементов с YSZ/CGO электролитом
Published: (2016)

Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением
by: Берлин Е. В. Евгений Владимирович
Published: (Москва, Техносфера, 2014)

Исследование фазового состава тонких пленок диоксида титана, полученных среднечастотным дуальным магнетронным распылением
by: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Published: (2012)

Novel entropy-stabilized ultra high temperature ceramics thin films prepared by magnetron sputtering
Published: (2019)