Структура пленок, напыляемых в магнитном поле путем магнетронного распыления

Bibliographic Details
Parent link:	Изотопы: технологии, материалы и применение.— 2018.— [С. 42]
Main Author:	Загузин И. Ю.
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Отделение ядерно-топливного цикла
Other Authors:	Лютиков О. Н. (727), Мышкин В. Ф. Вячеслав Фёдорович
Summary:	Заглавие с титульного экрана
Language:	Russian
Published:	2018
Series:	Селекция веществ оптическими, электромагнитными, ИЦР, лазерными и плазменными методами. Диагностика и методы анализа веществ и примесей
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ напыление магнитные поля магнетронное распыление тонкие пленки физико-химические процессы изотопный состав
Online Access:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/52381
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=628956

Internet