|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
628588 |
| 005 |
20260209150814.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\conf\28842
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\conf\28841
|
| 090 |
|
|
|a 628588
|
| 100 |
|
|
|a 20181130d2018 k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a y z 101zy
|
| 135 |
|
|
|a drcn ---uucaa
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|
| 182 |
|
0 |
|a b
|
| 200 |
1 |
|
|a Сильноточное магнетронное распыление Al мишени
|f В. А. Грудинин, Д. В. Сиделёв
|
| 203 |
|
|
|a Текст
|c электронный
|
| 225 |
1 |
|
|a Модифицирование поверхности и покрытия
|
| 300 |
|
|
|a Заглавие с экрана
|
| 320 |
|
|
|a [Библиогр.: с. 287 (4 назв.)]
|
| 463 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\conf\28688
|t Перспективные материалы конструкционного и медицинского назначения
|o сборник трудов Международной научно-технической молодежной конференции, г. Томск, 26–30 ноября 2018 г.
|f Национальный исследовательский Томский политехнический университет, Инженерная школа новых производственных технологий ; Российский фонд фундаментальных исследований ; под ред. С. Н. Кулькова [и др.]
|v [С. 286-287]
|d 2018
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 610 |
1 |
|
|a электронный ресурс
|
| 610 |
1 |
|
|a магнетронное распыление
|
| 610 |
1 |
|
|a сильноточное распыление
|
| 610 |
1 |
|
|a мишени
|
| 610 |
1 |
|
|a тонкопленочные покрытия
|
| 610 |
1 |
|
|a ионно-плазменные установки
|
| 610 |
1 |
|
|a теплопроводность
|
| 610 |
1 |
|
|a алюминий
|
| 610 |
1 |
|
|a плазма
|
| 610 |
1 |
|
|a осаждение
|
| 700 |
|
1 |
|a Грудинин
|b В. А.
|c физик
|c инженер Томского политехнического университета
|f 1995-
|g Владислав Алексеевич
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\42339
|9 21518
|
| 701 |
|
1 |
|a Сиделёв
|b Д. В.
|c физик
|c доцент Томского политехнического университета, кандидат технических наук
|f 1991-
|g Дмитрий Владимирович
|y Томск
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\34510
|9 17891
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Национальный исследовательский Томский политехнический университет
|b Инженерная школа ядерных технологий
|b Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\23561
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20181205
|g RCR
|
| 856 |
4 |
|
|u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/51925
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
