Сильноточное магнетронное распыление Al мишени

Сильноточное магнетронное распыление Al мишени

Bibliographic Details
Parent link:	Перспективные материалы конструкционного и медицинского назначения: сборник трудов Международной научно-технической молодежной конференции, г. Томск, 26–30 ноября 2018 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет, Инженерная школа новых производственных технологий ; Российский фонд фундаментальных исследований ; под ред. С. Н. Кулькова [и др.]. [С. 286-287].— , 2018
Main Author:	Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга
Other Authors:	Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Summary:	Заглавие с экрана
Published:	2018
Series:	Модифицирование поверхности и покрытия
Subjects:	труды учёных ТПУ электронный ресурс магнетронное распыление сильноточное распыление мишени тонкопленочные покрытия ионно-плазменные установки теплопроводность алюминий плазма осаждение
Online Access:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/51925
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=628588

Internet

http://earchive.tpu.ru/handle/11683/51925