Влияние самораспыления на скорости осаждения медных покрытий при работе магнетрона с испаряющейся мишенью

Влияние самораспыления на скорости осаждения медных покрытий при работе магнетрона с испаряющейся мишенью

Bibliographic Details
Parent link:	Перспективные материалы конструкционного и медицинского назначения: сборник трудов Международной научно-технической молодежной конференции, г. Томск, 26–30 ноября 2018 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет, Инженерная школа новых производственных технологий ; Российский фонд фундаментальных исследований ; под ред. С. Н. Кулькова [и др.]. [С. 284-285].— , 2018
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга
Other Authors:	Грудинин В. А. Владислав Алексеевич, Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович, Шабунин А. С. Артём Сергеевич, Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Summary:	Заглавие с экрана
Published:	2018
Series:	Модифицирование поверхности и покрытия
Subjects:	труды учёных ТПУ электронный ресурс самораспыление осаждение медные покрытия магнетроны мишени магнетронные распылительные системы скорость покрытия испарение
Online Access:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/51924
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=628587

Similar Items

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
by: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Published: (Томск, 2017)

Исследование особенностей режима самораспыления при работе магнетронных распылительных систем с испаряющимися металлическими мишенями
Published: (2020)

Features of self-sustained magnetron sputtering of evaporating metal target
Published: (2019)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
by: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Published: (Томск, 2017)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
by: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Published: (Томск, [Б. и.], 2017)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
by: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Published: (Томск, [Б. и.], 2017)

Анализ возможностей магнетронных распылительных систем для высокоскоростного осаждения функциональных покрытий
by: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Published: (2020)

Магнетронная распылительная система на жидкофазных и твёрдых мишенях в сочетании с внешним пучком ускоренных ионов
by: Жукова М. А.
Published: (2007)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью
by: Рогожников Д. С.
Published: (2016)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
by: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Published: (Томск, 2018)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
by: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Published: (Томск, [Б. и.], 2018)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
by: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Published: (Томск, [Б. и.], 2018)

Сравнительный анализ производительности и энергоэффективности получения металлических покрытий с использованием мощных импульсных ионных пучков и плазмы магнетронного разряда
by: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Published: (2012)

Изучения свойств оксидных плёнок, полученных с помощью дуального магнетрона
by: Бумагина А. И. Анна Ивановна
Published: (2009)

Magnetron Discharge in the Diode with a Liquid-Metal Target
Published: (2004)

Баланс энергии на катодном узле магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью
Published: (2014)

Моделирование магнитной подсистемы планарного магнетрона
by: Зайцев Даниил Дмитриевич Д. Д.
Published: (2023)

Научные и технологические принципы нанесения покрытий методами физического и химического осаждения : методы получения и исследования покрытий практикум
by: Кирюханцев-Корнеев Ф. В.
Published: (Москва, МИСИС, 2015)

Нанесение электрохромных покрытий методом магнетронного распыления
by: Шпакова Н. Ю.
Published: (2011)

Компьютерное моделирование магнетрона с целью уменьшения воздействия "паразитных" магнитных полей
by: Ибрагимов Е. А. Егор Артурович
Published: (2008)

Изучение скорости растворения покрытий TiON в модельных биологических жидкостях
by: Ефимова Е. В.
Published: (2017)

Влияние плотности мощности магнетронного диода на скорость осаждения и фазовый состав CrNX покрытий
by: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Published: (2021)

Микротекстура поверхности покрытий оксинитридов титана, осажденных методов реактивного магнетронного распыления
by: Мазурик Е. А.
Published: (2014)

Оптимизация магнитного поля дуального магнетрона
by: Шелепова М. А.
Published: (2009)

Плазменная технология осаждения отражающего покрытия на поверхность углепластика
Published: (2011)

Травление углеродных покрытий в плазме водорода
Published: (2021)

Анализ возможностей магнетронных распылительных систем для высокоскоростного осаждения функциональных покрытий
by: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Published: (2014)

Электропроводящие антифрикционные покрытия на основе системы CU-MO-S
Published: (2016)

Исследование резистивных характеристик медных покрытий на диэлектрическом основании, полученных методом вакуумно-дугового испарения
Published: (2010)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
by: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Published: (Томск, 2018)

Определение равномерности толщины никелевых покрытий, нанесенных на циркониевые сплавы методом магнетронного распыления
by: Цяо Цзинвэнь
Published: (2017)

Низкоэмиссионные и терморегулирующие покрытия на основе тонких слоев серебра
Published: (2012)

Моделирование магнитного поля магнетронной распылительной системы с плоским катодом
by: Анорин В. Е. Виталий Евгеньевич
Published: (2022)

Магнетронная распылительная система с жидкофазным катодом
by: Николаев М. В.
Published: (2015)

Высокоскоростное осаждение покрытий на основе соединений хрома и азота с использованием плазмы магнетронных распылительных систем диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 1.3.8
by: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Published: (Томск, 2022)

Высокоскоростное осаждение покрытий на основе соединений хрома и азота с использованием плазмы магнетронных распылительных систем автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 1.3.8
by: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Published: (Томск, 2022)

Магнетронный диод на парах металлов
by: Жуков В. В.
Published: (2002)

Aluminum films deposition by magnetron sputtering systems: Influence of target state and pulsing unit
Published: (2016)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
by: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Published: (Томск, 2016)

Устройство дугогашения для мощных магнетронных распылительных систем
by: Арсланов И. Р.
Published: (2002)