Влияние самораспыления на скорости осаждения медных покрытий при работе магнетрона с испаряющейся мишенью
| Parent link: | Перспективные материалы конструкционного и медицинского назначения: сборник трудов Международной научно-технической молодежной конференции, г. Томск, 26–30 ноября 2018 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет, Инженерная школа новых производственных технологий ; Российский фонд фундаментальных исследований ; под ред. С. Н. Кулькова [и др.]. [С. 284-285].— , 2018 |
|---|---|
| Ente Autore: | |
| Altri autori: | , , , |
| Riassunto: | Заглавие с экрана |
| Lingua: | russo |
| Pubblicazione: |
2018
|
| Serie: | Модифицирование поверхности и покрытия |
| Soggetti: | |
| Accesso online: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/51924 |
| Natura: | Elettronico Capitolo di libro |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=628587 |