Влияние самораспыления на скорости осаждения медных покрытий при работе магнетрона с испаряющейся мишенью

Влияние самораспыления на скорости осаждения медных покрытий при работе магнетрона с испаряющейся мишенью

Bibliographic Details
Parent link:	Перспективные материалы конструкционного и медицинского назначения: сборник трудов Международной научно-технической молодежной конференции, г. Томск, 26–30 ноября 2018 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет, Инженерная школа новых производственных технологий ; Российский фонд фундаментальных исследований ; под ред. С. Н. Кулькова [и др.]. [С. 284-285].— , 2018
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга
Other Authors:	Грудинин В. А. Владислав Алексеевич, Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович, Шабунин А. С. Артём Сергеевич, Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Summary:	Заглавие с экрана
Published:	2018
Series:	Модифицирование поверхности и покрытия
Subjects:	труды учёных ТПУ электронный ресурс самораспыление осаждение медные покрытия магнетроны мишени магнетронные распылительные системы скорость покрытия испарение
Online Access:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/51924
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=628587

Internet

http://earchive.tpu.ru/handle/11683/51924