Влияние самораспыления на скорости осаждения медных покрытий при работе магнетрона с испаряющейся мишенью; Перспективные материалы конструкционного и медицинского назначения

Bibliografische gegevens
Parent link:	Перспективные материалы конструкционного и медицинского назначения.— 2018.— [С. 284-285]
Coauteur:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга
Andere auteurs:	Грудинин В. А. Владислав Алексеевич, Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович, Шабунин А. С. Артём Сергеевич, Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Samenvatting:	Заглавие с экрана
Taal:	Russisch
Gepubliceerd in:	2018
Reeks:	Модифицирование поверхности и покрытия
Onderwerpen:	труды учёных ТПУ электронный ресурс самораспыление осаждение медные покрытия магнетроны мишени магнетронные распылительные системы скорость покрытия испарение
Online toegang:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/51924
Formaat:	MixedMaterials Elektronisch Hoofdstuk
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=628587

Internet