Влияние самораспыления на скорости осаждения медных покрытий при работе магнетрона с испаряющейся мишенью; Перспективные материалы конструкционного и медицинского назначения

Bibliographic Details
Parent link:	Перспективные материалы конструкционного и медицинского назначения.— 2018.— [С. 284-285]
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга
Other Authors:	Грудинин В. А. Владислав Алексеевич, Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович, Шабунин А. С. Артём Сергеевич, Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Summary:	Заглавие с экрана
Language:	Russian
Published:	2018
Series:	Модифицирование поверхности и покрытия
Subjects:	труды учёных ТПУ электронный ресурс самораспыление осаждение медные покрытия магнетроны мишени магнетронные распылительные системы скорость покрытия испарение
Online Access:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/51924
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=628587

Description
Summary:	Заглавие с экрана

Similar Items