Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга, Грудинин В. А. Владислав Алексеевич, Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович, Шабунин А. С. Артём Сергеевич, & Блейхер Г. А. Галина Алексеевна. (2018). Влияние самораспыления на скорости осаждения медных покрытий при работе магнетрона с испаряющейся мишенью. 2018.
Trích dẫn kiểu Chicago (xuất bản lần thứ 7)Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга, Грудинин В. А. Владислав Алексеевич, Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович, Шабунин А. С. Артём Сергеевич, và Блейхер Г. А. Галина Алексеевна. Влияние самораспыления на скорости осаждения медных покрытий при работе магнетрона с испаряющейся мишенью. 2018, 2018.
Trích dẫn kiểu MLA (xuất bản lần thứ 9)Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга, et al. Влияние самораспыления на скорости осаждения медных покрытий при работе магнетрона с испаряющейся мишенью. 2018, 2018.