Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга, Грудинин В. А. Владислав Алексеевич, Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович, Шабунин А. С. Артём Сергеевич, & Блейхер Г. А. Галина Алексеевна. (2018). Влияние самораспыления на скорости осаждения медных покрытий при работе магнетрона с испаряющейся мишенью; Перспективные материалы конструкционного и медицинского назначения. 2018.
Chicago Style (17th ed.) CitationНациональный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга, Грудинин В. А. Владислав Алексеевич, Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович, Шабунин А. С. Артём Сергеевич, and Блейхер Г. А. Галина Алексеевна. Влияние самораспыления на скорости осаждения медных покрытий при работе магнетрона с испаряющейся мишенью; Перспективные материалы конструкционного и медицинского назначения. 2018, 2018.
MLA引文Национальный исследовательский Томский политехнический университет Инженерная школа ядерных технологий Научно-образовательный центр Б. П. Вейнберга, et al. Влияние самораспыления на скорости осаждения медных покрытий при работе магнетрона с испаряющейся мишенью; Перспективные материалы конструкционного и медицинского назначения. 2018, 2018.