Особенности электронно-лучевого напыления керамических покрытий в форвакуумном диапазоне давлений

Bibliographic Details
Parent link:Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XIV Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 25-28 апреля 2017 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. И. А. Курзиной, Г. А. Вороновой.— , 2017
Т. 7 : IT-технологии и электроника.— 2017.— [С. 93-95]
Main Author: Останин С. А.
Other Authors: Климов А. С. (727), Зенин А. А., Окс Е. М.
Summary:Заглавие с экрана
The paper presents research results on electron beam evaporation of dielectric materials in the forevacuum pressure range. The research results demonstrate the efficiency of using an electron beam for evaporation of alumina ceramic at forevacuum pressures.
Language:Russian
Published: 2017
Subjects:
Online Access:http://earchive.tpu.ru/handle/11683/45340
Format: Electronic Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=625694

Similar Items