Особенности электронно-лучевого напыления керамических покрытий в форвакуумном диапазоне давлений
| Parent link: | Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XIV Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 25-28 апреля 2017 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. И. А. Курзиной, Г. А. Вороновой.— , 2017 Т. 7 : IT-технологии и электроника.— 2017.— [С. 93-95] |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | , , |
| Summary: | Заглавие с экрана The paper presents research results on electron beam evaporation of dielectric materials in the forevacuum pressure range. The research results demonstrate the efficiency of using an electron beam for evaporation of alumina ceramic at forevacuum pressures. |
| Language: | Russian |
| Published: |
2017
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/45340 |
| Format: | Electronic Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=625694 |