Особенности электронно-лучевого напыления керамических покрытий в форвакуумном диапазоне давлений; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 7 : IT-технологии и электроника
| Parent link: | Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XIV Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 25-28 апреля 2017 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. И. А. Курзиной, Г. А. Вороновой.— , 2017 Т. 7 : IT-технологии и электроника.— 2017.— [С. 93-95] |
|---|---|
| Autor principal: | |
| Altres autors: | , , |
| Sumari: | Заглавие с экрана The paper presents research results on electron beam evaporation of dielectric materials in the forevacuum pressure range. The research results demonstrate the efficiency of using an electron beam for evaporation of alumina ceramic at forevacuum pressures. |
| Idioma: | rus |
| Publicat: |
2017
|
| Matèries: | |
| Accés en línia: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/45340 |
| Format: | Electrònic Capítol de llibre |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=625694 |