Изменение геометрии пятна узкосфокусированного электронного пучка при отклонении на горизонтальной поверхности в области давлений 10-30 паскалей

Bibliographic Details
Parent link:Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XIV Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 25-28 апреля 2017 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. И. А. Курзиной, Г. А. Вороновой.— , 2017
Т. 7 : IT-технологии и электроника.— 2017.— [С. 21-23]
Main Author: Бакеев И. Ю.
Other Authors: Зенин А. А. (727), Окс Е. М.
Summary:Заглавие с экрана
The results of investigation about electron beam size changes during deviation of the beam on a horizontal surface in the pressure range of 10-30 Pa are presented. It is shown, that the size of the beam on longitudinal projection of the deviation increases monotonically, on the perpendicular - the beam size remains unchanged. Influence of helium pressure in the range of 10-30 Pa on the beam diameter is not depended.
Published: 2017
Subjects:
Online Access:http://earchive.tpu.ru/handle/11683/45345
Format: Electronic Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=625667