The nonisothermal model of the initial stage of ion implantation process; Nanoparticles, nanostructured coatings and microcontainers: technology, properties, applications

Detalles Bibliográficos
Parent link:	Nanoparticles, nanostructured coatings and microcontainers: technology, properties, applications.— 2016.— [P. 51]
Autor principal:	Parfenova E. S. Elena Sergeevna
Autor Corporativo:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Учебно-научная межотраслевая междисциплинарная лаборатория "Моделирование физико-химических процессов в современных технологиях" (УНММЛ "МФХПСТ")
Sumario:	Title screen.
Lenguaje:	inglés
Publicado:	2016
Materias:	электронный ресурс труды учёных ТПУ ионная имплантация обработка материалы поверхностные слои диффузия примесей механические напряжения компьютерное моделирование
Acceso en línea:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2016/002.pdf
Formato:	Electrónico Capítulo de libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=624221

Internet