The nonisothermal model of the initial stage of ion implantation process

Podrobná bibliografie
Parent link:	Nanoparticles, nanostructured coatings and microcontainers: technology, properties, applications: 7th International Conference, May 12-15, 2016, Tomsk, Russia/ National Research Tomsk Polytechnic University (TPU). [P. 51].— , 2016
Hlavní autor:	Parfenova E. S. Elena Sergeevna
Korporativní autor:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Учебно-научная межотраслевая междисциплинарная лаборатория "Моделирование физико-химических процессов в современных технологиях" (УНММЛ "МФХПСТ")
Shrnutí:	Title screen.
Vydáno:	2016
Témata:	электронный ресурс труды учёных ТПУ ионная имплантация обработка материалы поверхностные слои диффузия примесей механические напряжения компьютерное моделирование
On-line přístup:	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2016/002.pdf
Médium:	Elektronický zdroj Kapitola
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=624221

Internet