|
|
|
|
| LEADER |
00000naa2a2200000 4500 |
| 001 |
624221 |
| 005 |
20231101133313.0 |
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\conf\23447
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\conf\17359
|
| 090 |
|
|
|a 624221
|
| 100 |
|
|
|a 20171108d2016 k y0engy50 ba
|
| 101 |
0 |
|
|a eng
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a y z 101zy
|
| 135 |
|
|
|a drcn ---uucaa
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|
| 182 |
|
0 |
|a b
|
| 200 |
1 |
|
|a The nonisothermal model of the initial stage of ion implantation process
|f E. S. Parfenova
|
| 203 |
|
|
|a Текст
|c электронный
|
| 230 |
|
|
|a 1 компьютерный файл (pdf; 212 Kb)
|
| 300 |
|
|
|a Title screen.
|
| 463 |
|
1 |
|0 (RuTPU)RU\TPU\conf\17357
|t Nanoparticles, nanostructured coatings and microcontainers: technology, properties, applications
|o 7th International Conference, May 12-15, 2016, Tomsk, Russia
|o abstracts
|f National Research Tomsk Polytechnic University (TPU)
|v [P. 51]
|d 2016
|
| 610 |
1 |
|
|a электронный ресурс
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 610 |
1 |
|
|a ионная имплантация
|
| 610 |
1 |
|
|a обработка
|
| 610 |
1 |
|
|a материалы
|
| 610 |
1 |
|
|a поверхностные слои
|
| 610 |
1 |
|
|a диффузия примесей
|
| 610 |
1 |
|
|a механические напряжения
|
| 610 |
1 |
|
|a компьютерное моделирование
|
| 700 |
|
1 |
|a Parfenova
|b E. S.
|c Chemical Engineer
|c engineer of Tomsk Polytechnic University
|f 1989-
|g Elena Sergeevna
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\34500
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
|b Институт физики высоких технологий (ИФВТ)
|b Учебно-научная межотраслевая междисциплинарная лаборатория "Моделирование физико-химических процессов в современных технологиях" (УНММЛ "МФХПСТ")
|h 6383
|2 stltpush
|3 (RuTPU)RU\TPU\col\19311
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20201109
|g RCR
|
| 856 |
4 |
|
|u http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2016/002.pdf
|
| 942 |
|
|
|c BK
|
