Экспериментальные исследования проблем оптимизации методов эпитаксиального выращивания наноструктур III-N материалов; Современные технологии и материалы новых поколений

Bibliographische Detailangaben
Parent link:	Современные технологии и материалы новых поколений.— 2017.— [С. 289-290]
1. Verfasser:	Жиленков А. А.
Körperschaft:	Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики (НИУ ИТМО)
Zusammenfassung:	Заглавие с экрана
Sprache:	Russisch
Veröffentlicht:	2017
Schriftenreihe:	Аддитивные технологии получения новых материалов
Schlagworte:	электронный ресурс экспериментальные исследования оптимизация наноструктуры газофазная эпитаксия неоднородности выращивание структуры реакторы индукционный нагрев газы индукторы оптические свойства
Online-Zugang:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/43732
Format:	Elektronisch Buchkapitel
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=624149

Online