Мягкая имплантация ионов пропана для улучшения адгезии a-C:H пленок на германии (Ge)

Bibliographic Details
Parent link:	Современные технологии и материалы новых поколений.— 2017.— [С. 240-242]
Main Author:	Золкин А. С.
Corporate Author:	Новосибирский государственный университет (НГУ)
Other Authors:	Семерикова А. И.
Summary:	Заглавие с экрана
Language:	Russian
Published:	2017
Series:	Функциональные материалы и покрытия
Subjects:	электронный ресурс имплантация ионов пропан адгезия пленки германий углеродные пленки покрытия оптика оптические свойства твердость наноиндентирование ионные пучки
Online Access:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/43706
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=624125

Internet