Анализ микроструктуры пленок на основе оксинитридов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
| Parent link: | Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XIV Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 25-28 апреля 2017 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. И. А. Курзиной, Г. А. Вороновой.— , 2017 Т. 1 : Физика.— 2017.— [С. 423-425] |
|---|---|
| Hoofdauteur: | |
| Coauteur: | |
| Andere auteurs: | , , |
| Samenvatting: | Заглавие с экрана This paper presents the structure analysis results of TiOxNy films, deposited using reactive magnetron sputtering with different O2/N2 flow ratio. The impact of increase of N2 flow upon the films structure has been studied. The analysis was carried out by X-ray diffraction method. The lattice parameters and phase composition were calculated using PowderCell 2.4. |
| Taal: | Russisch |
| Gepubliceerd in: |
2017
|
| Onderwerpen: | |
| Online toegang: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/41501 |
| Formaat: | MixedMaterials Elektronisch Hoofdstuk |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=622725 |
MARC
| LEADER | 00000naa2a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 622725 | ||
| 005 | 20241125140622.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\conf\21527 | ||
| 035 | |a RU\TPU\conf\21526 | ||
| 090 | |a 622725 | ||
| 100 | |a 20170705d2017 k y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 105 | |a y z 100zy | ||
| 135 | |a drcn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Анализ микроструктуры пленок на основе оксинитридов титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления |d Microstructure analysis of titanium oxynitride films deposited by reactive magnetron sputtering |f Сунь Чжилэй, М. Е. Конищев, А. А. Пустовалова |g науч. рук. В. Ф. Пичугин | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 300 | |a Заглавие с экрана | ||
| 320 | |a [Библиогр.: с. 425 (5 назв.)] | ||
| 330 | |a This paper presents the structure analysis results of TiOxNy films, deposited using reactive magnetron sputtering with different O2/N2 flow ratio. The impact of increase of N2 flow upon the films structure has been studied. The analysis was carried out by X-ray diffraction method. The lattice parameters and phase composition were calculated using PowderCell 2.4. | ||
| 461 | 1 | |0 (RuTPU)RU\TPU\conf\21388 |t Перспективы развития фундаментальных наук |l Prospects of Fundamental Sciences Development |o сборник научных трудов XIV Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 25-28 апреля 2017 г. |o в 7 т. |f Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. И. А. Курзиной, Г. А. Вороновой |d 2017 | |
| 463 | 1 | |0 (RuTPU)RU\TPU\conf\21389 |t Т. 1 : Физика |v [С. 423-425] |d 2017 | |
| 510 | 1 | |a Microstructure analysis of titanium oxynitride films deposited by reactive magnetron sputtering |z eng | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a биосовместимость | |
| 610 | 1 | |a имплантаты | |
| 610 | 1 | |a медицинское материаловедение | |
| 610 | 1 | |a гладкомышечные клетки | |
| 610 | 1 | |a гемосовместимость | |
| 700 | 0 | |a Сунь Чжилэй |c физик |c инженер-исследователь Томского политехнического университета |f 1992- |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\46146 | |
| 701 | 1 | |a Конищев |b М. Е. |c физик |c старший преподаватель Томского политехнического университета |f 1987- |g Максим Евгеньевич |y Томск |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\27837 |9 12872 | |
| 701 | 1 | |a Пустовалова |b А. А. |c биофизик |c инженер Томского политехнического университета |f 1989- |g Алла Александровна |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\31045 | |
| 702 | 1 | |a Пичугин |b В. Ф. |c российский физик |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук |f 1944- |g Владимир Федорович |4 727 | |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) |b Физико-технический институт (ФТИ) |b Кафедра экспериментальной физики (ЭФ) |3 (RuTPU)RU\TPU\col\21255 |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20200218 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/41501 | |
| 942 | |c BK | ||