Водородопроницаемость покрытий нитрида титана, полученных методом вакуумно-дугового осаждения

Bibliographic Details
Parent link:Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XIV Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 25-28 апреля 2017 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. И. А. Курзиной, Г. А. Вороновой.— , 2017
Т. 1 : Физика.— 2017.— [С. 414-416]
Main Author: Чжан Ле
Corporate Author: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра общей физики (ОФ)
Other Authors: Сутыгина А. Н. Алина Николаевна (727), Кашкаров Е. Б. Егор Борисович, Никитенков Н. Н. Николай Николаевич
Summary:Заглавие с экрана
This paper is devoted to investigation of element distribution and microparticles formation during deposition of titanium nitride coatings by cathodic vacuum arc with pulsed bias voltage. The results revealed that with the increase in bias voltage from -50 to -300 V, the quantity and size of microparticles decreased.
Published: 2017
Subjects:
Online Access:http://earchive.tpu.ru/handle/11683/41498
Format: Electronic Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=622722