Водородопроницаемость покрытий нитрида титана, полученных методом вакуумно-дугового осаждения; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
| Parent link: | Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XIV Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 25-28 апреля 2017 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. И. А. Курзиной, Г. А. Вороновой.— , 2017 Т. 1 : Физика.— 2017.— [С. 414-416] |
|---|---|
| Autore principale: | |
| Ente Autore: | |
| Altri autori: | , , |
| Riassunto: | Заглавие с экрана This paper is devoted to investigation of element distribution and microparticles formation during deposition of titanium nitride coatings by cathodic vacuum arc with pulsed bias voltage. The results revealed that with the increase in bias voltage from -50 to -300 V, the quantity and size of microparticles decreased. |
| Lingua: | russo |
| Pubblicazione: |
2017
|
| Soggetti: | |
| Accesso online: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/41498 |
| Natura: | Elettronico Capitolo di libro |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=622722 |