Исследование микроструктуры, фазового состава и свойств покрытий системы Al-Si-N, полученных методом магнетронного осаждения

Исследование микроструктуры, фазового состава и свойств покрытий системы Al-Si-N, полученных методом магнетронного осаждения

Dettagli Bibliografici
Parent link:	Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XIV Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 25-28 апреля 2017 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. И. А. Курзиной, Г. А. Вороновой.— , 2017 Т. 1 : Физика.— 2017.— [С. 156-158]
Autore principale:	Калиева Р. А.
Ente Autore:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет
Altri autori:	Рыбалко Е. В. (727), Божко И. А. Ирина Александровна
Riassunto:	Заглавие с экрана We present the results of investigation of structural and phase state, mechanical and optical properties of Al-Si-N system coatings, deposed by magnetron sputtering on quartz glass.
Lingua:	russo
Pubblicazione:	2017
Soggetti:	труды учёных ТПУ электронный ресурс транспортные средства оптика покрытия магнетронное осаждение физико-механические свойства
Accesso online:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/41438
Natura:	Elettronico Capitolo di libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=622668

Documenti analoghi

Особенности структурно-фазового состояния и физико-механических свойств покрытий системы Al-SiN, полученных методом магнетронного осаждения
Pubblicazione: (2017)

Исследование физико-механических свойств защитных покрытий систем Al-Si-N и Zr-Y-O, сформированных в условиях импульсного магнетронного осаждения
di: Ду Яфэн
Pubblicazione: (2021)

Влияние параметров осаждения на свойства покрытий TiN, наносимых методом магнетронного распыления
di: Шпакова Н. Ю.
Pubblicazione: (2009)

Осаждение сверхтвердых Ti-Si-N-покрытий методом импульсного сильноточного реактивного магнетронного распыления
Pubblicazione: (2016)

Structural Phase State and Mechanical Properties of the Si-Al-N Coatings with Different Concentration Ratio of Al and Si
Pubblicazione: (2015)

Изменение структуры и фазового состава покрытий Si-Al-N, полученных при магнетронном распылении мишеней с разным соотношением Al:Si
Pubblicazione: (2013)

Структура и термомеханические свойства покрытий на основе Si-Al-N при их осаждении методом импульсного магнетронного распыления
Pubblicazione: (2011)

Влияние режимов магнетронного осаждения на свойства электрохромных слоёв WО3
di: Шпакова Н. Ю.
Pubblicazione: (2010)

Влияние плотности мощности магнетронного диода на скорость осаждения и фазовый состав CrNX покрытий
di: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Pubblicazione: (2021)

Получение нанокомпозитных покрытий на основе системы Ti-Al-Si-N с помощью двух магнетронов
Pubblicazione: (2009)

Осаждение тонкопленочного люминесцентного покрытия состава Y3Al5O12:Ce методом магнетронного распыления
di: Рунц А. А.
Pubblicazione: (2022)

Оптические характеристики плазмы магнетронного разряда в условиях осаждения оксидов и оксинитридов титана
di: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Pubblicazione: (2010)

Высокоскоростное магнетронное осаждение покрытий нитрида хрома
di: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Pubblicazione: (2020)

Осаждение хромовых покрытий с помощью магнетронного распыления «горячей» мишени с ассистированием внешним плазменным источником
di: Бондарь А. А. Альберт Алексеевич
Pubblicazione: (2022)

Исследование покрытий на основе магний-содержащего гидроксиапатита, полученных методом высокочастотного магнетронного осаждения
di: Анорин В. Е. Виталий Евгеньевич
Pubblicazione: (2023)

Tribological Properties and Microstructure of Gradient Nanocomposite Coatings on the Basis of Ti-Al-Cr-B-N
Pubblicazione: (2015)

Изменение микроструктуры и механических свойств защитных покрытий на основе Si-Al-N при легировании рением с помощью магнетронного распыления мишени ALSIRE в атмосфере азота и аргона
di: Турсунханова Р. Рыскуль
Pubblicazione: (2024)

Импульсное магнетронное осаждение покрытий на основе системы Cu-Mo-S
Pubblicazione: (2015)

Закономерности формирования микроструктуры покрытий на основе нитрида титана, полученных методом ионно-плазменного осаждения
di: Овечкин В. И.
Pubblicazione: (2009)

Магнетронное осаждение покрытий с испарением мишени
di: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Pubblicazione: (2015)

Сравнительное изучение структуры и свойств нанокомпозитных покрытий Al-Si-N и Ni/Al-Si-N, полученных методом магнетронного осаждения
di: Иванова А. В.
Pubblicazione: (2016)

Сравнительное изучение стойкости защитных нанокомпозитных покрытий Al-Si-N и In-Sn-O к ударным воздействиям твердых микрочастиц
di: Калиева Р. А.
Pubblicazione: (2018)

Влияние температуры осаждения нанокомпозитных покрытий Al-Si-N на микротвердость и светопропускание кварцевого стекла
di: Рыбалко Е. В.
Pubblicazione: (2015)

Структура и свойства покрытий системы Hf-Al-C, полученных методом реактивного магнетронного распыления
di: Зелецов Д.
Pubblicazione: (2019)

Обнаружение NO в биосовместимых оксинитридных покрытиях титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления
di: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
Pubblicazione: (2015)

Effect of Magnetron Deposition Conditions on the Structure, Phase Composition and Properties of the Coatings on the Basis of the Al-Si-N System
Pubblicazione: (2017)

Влияние параметров магнетронного распыления на микроструктуру и механические свойства покрытий Ti-Al-Ta-N
di: Гаранин Ю. А.
Pubblicazione: (2022)

Protection from High-Velocity Impact Particles for Quartz Glass by Coatings on the Basis of Al-Si-N
Pubblicazione: (2016)

Влияние предварительной обработки ионным пучком титана на внутренние напряжения и микроструктуру покрытий TiAlN, полученных методом магнетронного распыления
Pubblicazione: (2015)

Магнетронное осаждение двухслойных покрытий Ta/SiAlN и SiAlN/TaN для защиты кварцевых стекол от ударов гиперскоростных микрочастиц железа
Pubblicazione: (2021)

Исследование алмазоподобных покрытий, полученных методом импульсного осаждения
di: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Pubblicazione: (2020)

Исследование повехностной плотности электрического заряда биосовместимых покрытий полученных методом магнетронного распыления
di: Быкова Ю. В. Юлия Владиславовна
Pubblicazione: (2010)

Исследование структуры, элементного и фазового состава покрытий на основе оксинитридов титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления
Pubblicazione: (2013)

Остеогенный потенциал покрытий на основе гидроксиа-патита, полученных методом ВЧ-магнетронного распыления
di: Грибенников М. В.
Pubblicazione: (2013)

Формирование износостойких многослойных нанокомпозитных покрытий на основе систем ZR-Y-O И SI-AL-N методом магнетронного распыления композиционных мишеней
Pubblicazione: (2012)

Защитные покрытия ZrYO/AlSiN
di: Ван Синьсинь
Pubblicazione: (2021)

Сравнительный анализ свойств покрытий на основе углерода, полученных различными PVD и CVD методами осаждения
Pubblicazione: (2019)

Исследование структуры и механических свойств покрытий на основе Zr-Y-O при импульсном магнетронном осаждении на подложках оптического стекла К208
Pubblicazione: (2018)

Исследование физико-механических свойств биосовместимых покрытий с антибактериальными свойствами, полученных методом вч-магнетронного распыления
di: Сыромотина Д. С. Дина Сергеевна
Pubblicazione: (2013)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью
di: Рогожников Д. С.
Pubblicazione: (2016)