Исследование микроструктуры, фазового состава и свойств покрытий системы Al-Si-N, полученных методом магнетронного осаждения; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
| Parent link: | Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XIV Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 25-28 апреля 2017 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. И. А. Курзиной, Г. А. Вороновой.— , 2017 Т. 1 : Физика.— 2017.— [С. 156-158] |
|---|---|
| Hovedforfatter: | Калиева Р. А. |
| Institution som forfatter: | Национальный исследовательский Томский политехнический университет |
| Andre forfattere: | Рыбалко Е. В. (научный руководитель), Божко И. А. Ирина Александровна |
| Summary: | Заглавие с экрана We present the results of investigation of structural and phase state, mechanical and optical properties of Al-Si-N system coatings, deposed by magnetron sputtering on quartz glass. |
| Sprog: | russisk |
| Udgivet: |
2017
|
| Fag: | |
| Online adgang: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/41438 |
| Format: | Electronisk Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=622668 |
Lignende værker
Особенности структурно-фазового состояния и физико-механических свойств покрытий системы Al-SiN, полученных методом магнетронного осаждения; Перспективные материалы с иерархической структурой для новых технологий и надежных конструкций
Udgivet: (2017)
Udgivet: (2017)
Исследование физико-механических свойств защитных покрытий систем Al-Si-N и Zr-Y-O, сформированных в условиях импульсного магнетронного осаждения; Научная инициатива иностранных студентов и аспирантов; Т. 1
af: Ду Яфэн
Udgivet: (2021)
af: Ду Яфэн
Udgivet: (2021)
Влияние параметров осаждения на свойства покрытий TiN, наносимых методом магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2
af: Шпакова Н. Ю.
Udgivet: (2009)
af: Шпакова Н. Ю.
Udgivet: (2009)
Осаждение сверхтвердых Ti-Si-N-покрытий методом импульсного сильноточного реактивного магнетронного распыления; Журнал технической физики; Т. 86, вып. 2
Udgivet: (2016)
Udgivet: (2016)
Изменение структуры и фазового состава покрытий Si-Al-N, полученных при магнетронном распылении мишеней с разным соотношением Al:Si; Высокие технологии в современной науке и технике; Т. 1
Udgivet: (2013)
Udgivet: (2013)
Влияние плотности мощности магнетронного диода на скорость осаждения и фазовый состав CrNX покрытий; Современные проблемы машиностроения
af: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Udgivet: (2021)
af: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Udgivet: (2021)
Structural Phase State and Mechanical Properties of the Si-Al-N Coatings with Different Concentration Ratio of Al and Si; Advanced Materials Research; Vol. 1085 : Prospects of Fundamental Sciences Development (PFSD-2014)
Udgivet: (2015)
Udgivet: (2015)
Влияние режимов магнетронного осаждения на свойства электрохромных слоёв WО3; Современные техника и технологии; Т. 2
af: Шпакова Н. Ю.
Udgivet: (2010)
af: Шпакова Н. Ю.
Udgivet: (2010)
Осаждение хромовых покрытий с помощью магнетронного распыления «горячей» мишени с ассистированием внешним плазменным источником; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
af: Бондарь А. А. Альберт Алексеевич
Udgivet: (2022)
af: Бондарь А. А. Альберт Алексеевич
Udgivet: (2022)
Осаждение тонкопленочного люминесцентного покрытия состава Y3Al5O12:Ce методом магнетронного распыления; Современные проблемы машиностроения
af: Рунц А. А.
Udgivet: (2022)
af: Рунц А. А.
Udgivet: (2022)
Структура и термомеханические свойства покрытий на основе Si-Al-N при их осаждении методом импульсного магнетронного распыления; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 319, № 2 : Математика и механика. Физика
Udgivet: (2011)
Udgivet: (2011)
Исследование покрытий на основе магний-содержащего гидроксиапатита, полученных методом высокочастотного магнетронного осаждения; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
af: Анорин В. Е. Виталий Евгеньевич
Udgivet: (2023)
af: Анорин В. Е. Виталий Евгеньевич
Udgivet: (2023)
Изменение микроструктуры и механических свойств защитных покрытий на основе Si-Al-N при легировании рением с помощью магнетронного распыления мишени ALSIRE в атмосфере азота и аргона; Современные проблемы машиностроения
af: Турсунханова Р. Рыскуль
Udgivet: (2024)
af: Турсунханова Р. Рыскуль
Udgivet: (2024)
Высокоскоростное магнетронное осаждение покрытий нитрида хрома; Современные проблемы машиностроения
af: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Udgivet: (2020)
af: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Udgivet: (2020)
Оптические характеристики плазмы магнетронного разряда в условиях осаждения оксидов и оксинитридов титана; Современные техника и технологии; Т. 3
af: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Udgivet: (2010)
af: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Udgivet: (2010)
Сравнительное изучение стойкости защитных нанокомпозитных покрытий Al-Si-N и In-Sn-O к ударным воздействиям твердых микрочастиц; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
af: Калиева Р. А.
Udgivet: (2018)
af: Калиева Р. А.
Udgivet: (2018)
Получение нанокомпозитных покрытий на основе системы Ti-Al-Si-N с помощью двух магнетронов; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 315, № 2: Математика и механика. Физика
Udgivet: (2009)
Udgivet: (2009)
Влияние параметров магнетронного распыления на микроструктуру и механические свойства покрытий Ti-Al-Ta-N; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
af: Гаранин Ю. А.
Udgivet: (2022)
af: Гаранин Ю. А.
Udgivet: (2022)
Импульсное магнетронное осаждение покрытий на основе системы Cu-Mo-S; Высокие технологии в современной науке и технике
Udgivet: (2015)
Udgivet: (2015)
Tribological Properties and Microstructure of Gradient Nanocomposite Coatings on the Basis of Ti-Al-Cr-B-N; Advanced Materials Research; Vol. 1085 : Prospects of Fundamental Sciences Development (PFSD-2014)
Udgivet: (2015)
Udgivet: (2015)
Закономерности формирования микроструктуры покрытий на основе нитрида титана, полученных методом ионно-плазменного осаждения; Новые материалы. Создание, структура, свойства-2009
af: Овечкин В. И.
Udgivet: (2009)
af: Овечкин В. И.
Udgivet: (2009)
Исследование элементного состава кальций-фосфатных покрытий, нанесённых методом ВЧ-магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук
Udgivet: (2008)
Udgivet: (2008)
Структура и свойства покрытий системы Hf-Al-C, полученных методом реактивного магнетронного распыления; Современные материалы и технологии новых поколений
af: Зелецов Д.
Udgivet: (2019)
af: Зелецов Д.
Udgivet: (2019)
Морфология поверхности покрытий на основе оксидов и оксинитридов титана, полученных методом реактивного магнетронного распыления; Перспективы развития фундаментальных наук
af: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Udgivet: (2012)
af: Гребнева И. А. Ирина Андреевна
Udgivet: (2012)
Магнетронное осаждение покрытий с испарением мишени; Журнал технической физики; Т. 85, вып. 12
af: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Udgivet: (2015)
af: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Udgivet: (2015)
Осаждение металлических покрытий с помощью магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
af: Рогожников Д. С.
Udgivet: (2016)
af: Рогожников Д. С.
Udgivet: (2016)
Влияние температуры осаждения нанокомпозитных покрытий Al-Si-N на микротвердость и светопропускание кварцевого стекла; Высокие технологии в современной науке и технике
af: Рыбалко Е. В.
Udgivet: (2015)
af: Рыбалко Е. В.
Udgivet: (2015)
Влияние параметров биполярного импульсного магнетронного распыления на элементный состав и механические характеристики покрытий Ti-Al-Ta-N; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
af: Гаранин Ю. А.
Udgivet: (2023)
af: Гаранин Ю. А.
Udgivet: (2023)
Формирование износостойких многослойных нанокомпозитных покрытий на основе систем ZR-Y-O И SI-AL-N методом магнетронного распыления композиционных мишеней; Современные техника и технологии; Т. 3
Udgivet: (2012)
Udgivet: (2012)
Обнаружение NO в биосовместимых оксинитридных покрытиях титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Химия и химическая технология в XXI веке; Т. 1
af: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
Udgivet: (2015)
af: Бойцова Е. Л. Елена Львовна
Udgivet: (2015)
Исследование алмазоподобных покрытий, полученных методом импульсного осаждения; Современные проблемы машиностроения
af: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Udgivet: (2020)
af: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Udgivet: (2020)
Магнетронное осаждение двухслойных покрытий Ta/SiAlN и SiAlN/TaN для защиты кварцевых стекол от ударов гиперскоростных микрочастиц железа; Проблемы прочности и пластичности материалов в условиях внешних энергетических воздействий
Udgivet: (2021)
Udgivet: (2021)
Исследование фазового состава тонких пленок диоксида титана, полученных среднечастотным дуальным магнетронным распылением; Перспективы развития фундаментальных наук
af: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Udgivet: (2012)
af: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Udgivet: (2012)
Сравнительное изучение структуры и свойств нанокомпозитных покрытий Al-Si-N и Ni/Al-Si-N, полученных методом магнетронного осаждения; Высокие технологии в современной науке и технике (ВТСНТ-2016)
af: Иванова А. В.
Udgivet: (2016)
af: Иванова А. В.
Udgivet: (2016)
Исследование повехностной плотности электрического заряда биосовместимых покрытий полученных методом магнетронного распыления; Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых
af: Быкова Ю. В. Юлия Владиславовна
Udgivet: (2010)
af: Быкова Ю. В. Юлия Владиславовна
Udgivet: (2010)
Остеогенный потенциал покрытий на основе гидроксиа-патита, полученных методом ВЧ-магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2
af: Грибенников М. В.
Udgivet: (2013)
af: Грибенников М. В.
Udgivet: (2013)
Исследование структуры, элементного и фазового состава покрытий на основе оксинитридов титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Взаимодействие ионов с поверхностью (ВИП - 2013); Т. 1
Udgivet: (2013)
Udgivet: (2013)
Влияние потока азота на свойства CrAlN покрытий, полученных магнетронным распылением с плазменным ассистированием; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
af: Осипова Е. С.
Udgivet: (2023)
af: Осипова Е. С.
Udgivet: (2023)
Влияние предварительной обработки ионным пучком титана на внутренние напряжения и микроструктуру покрытий TiAlN, полученных методом магнетронного распыления; Перспективные материалы с иерархической структурой для новых технологий и надежных конструкций
Udgivet: (2015)
Udgivet: (2015)
Моделирование процесса магнетронного осаждения хрома при планетарном вращении подложки; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
af: Оруджов Э. Э.
Udgivet: (2023)
af: Оруджов Э. Э.
Udgivet: (2023)
Lignende værker
-
Особенности структурно-фазового состояния и физико-механических свойств покрытий системы Al-SiN, полученных методом магнетронного осаждения; Перспективные материалы с иерархической структурой для новых технологий и надежных конструкций
Udgivet: (2017) -
Исследование физико-механических свойств защитных покрытий систем Al-Si-N и Zr-Y-O, сформированных в условиях импульсного магнетронного осаждения; Научная инициатива иностранных студентов и аспирантов; Т. 1
af: Ду Яфэн
Udgivet: (2021) -
Влияние параметров осаждения на свойства покрытий TiN, наносимых методом магнетронного распыления; Современные техника и технологии; Т. 2
af: Шпакова Н. Ю.
Udgivet: (2009) -
Осаждение сверхтвердых Ti-Si-N-покрытий методом импульсного сильноточного реактивного магнетронного распыления; Журнал технической физики; Т. 86, вып. 2
Udgivet: (2016) -
Изменение структуры и фазового состава покрытий Si-Al-N, полученных при магнетронном распылении мишеней с разным соотношением Al:Si; Высокие технологии в современной науке и технике; Т. 1
Udgivet: (2013)