Исследование микроструктуры, фазового состава и свойств покрытий системы Al-Si-N, полученных методом магнетронного осаждения

Исследование микроструктуры, фазового состава и свойств покрытий системы Al-Si-N, полученных методом магнетронного осаждения

Bibliographic Details
Parent link:	Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XIV Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 25-28 апреля 2017 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. И. А. Курзиной, Г. А. Вороновой.— , 2017 Т. 1 : Физика.— 2017.— [С. 156-158]
Main Author:	Калиева Р. А.
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет
Other Authors:	Рыбалко Е. В. (727), Божко И. А. Ирина Александровна
Summary:	Заглавие с экрана We present the results of investigation of structural and phase state, mechanical and optical properties of Al-Si-N system coatings, deposed by magnetron sputtering on quartz glass.
Published:	2017
Subjects:	труды учёных ТПУ электронный ресурс транспортные средства оптика покрытия магнетронное осаждение физико-механические свойства
Online Access:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/41438
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=622668

Internet

http://earchive.tpu.ru/handle/11683/41438