Исследование микроструктуры, фазового состава и свойств покрытий системы Al-Si-N, полученных методом магнетронного осаждения; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
| Parent link: | Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XIV Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 25-28 апреля 2017 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. И. А. Курзиной, Г. А. Вороновой.— , 2017 Т. 1 : Физика.— 2017.— [С. 156-158] |
|---|---|
| Yazar: | |
| Müşterek Yazar: | |
| Diğer Yazarlar: | , |
| Özet: | Заглавие с экрана We present the results of investigation of structural and phase state, mechanical and optical properties of Al-Si-N system coatings, deposed by magnetron sputtering on quartz glass. |
| Dil: | Rusça |
| Baskı/Yayın Bilgisi: |
2017
|
| Konular: | |
| Online Erişim: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/41438 |
| Materyal Türü: | MixedMaterials Elektronik Kitap Bölümü |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=622668 |