Исследование микроструктуры, фазового состава и свойств покрытий системы Al-Si-N, полученных методом магнетронного осаждения; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
| Parent link: | Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XIV Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 25-28 апреля 2017 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. И. А. Курзиной, Г. А. Вороновой.— , 2017 Т. 1 : Физика.— 2017.— [С. 156-158] |
|---|---|
| Autor principal: | |
| Autor corporatiu: | |
| Altres autors: | , |
| Sumari: | Заглавие с экрана We present the results of investigation of structural and phase state, mechanical and optical properties of Al-Si-N system coatings, deposed by magnetron sputtering on quartz glass. |
| Idioma: | rus |
| Publicat: |
2017
|
| Matèries: | |
| Accés en línia: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/41438 |
| Format: | MixedMaterials Electrònic Capítol de llibre |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=622668 |
MARC
| LEADER | 00000naa2a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 622668 | ||
| 005 | 20251124145638.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\conf\21470 | ||
| 035 | |a RU\TPU\conf\21469 | ||
| 090 | |a 622668 | ||
| 100 | |a 20170703d2017 k y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 105 | |a y z 100zy | ||
| 135 | |a drcn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Исследование микроструктуры, фазового состава и свойств покрытий системы Al-Si-N, полученных методом магнетронного осаждения |d Investigation of microstructure, phase state and properties of Al-Si-N system coatings obtained by magnetron sputtering |f Р. А. Калиева, Е. В. Рыбалко |g науч. рук. И. А. Божко | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 300 | |a Заглавие с экрана | ||
| 320 | |a [Библиогр.: с. 158 (3 назв.)] | ||
| 330 | |a We present the results of investigation of structural and phase state, mechanical and optical properties of Al-Si-N system coatings, deposed by magnetron sputtering on quartz glass. | ||
| 461 | 1 | |0 (RuTPU)RU\TPU\conf\21388 |t Перспективы развития фундаментальных наук |l Prospects of Fundamental Sciences Development |o сборник научных трудов XIV Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 25-28 апреля 2017 г. |o в 7 т. |f Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. И. А. Курзиной, Г. А. Вороновой |d 2017 | |
| 463 | 1 | |0 (RuTPU)RU\TPU\conf\21389 |t Т. 1 : Физика |v [С. 156-158] |d 2017 | |
| 510 | 1 | |a Investigation of microstructure, phase state and properties of Al-Si-N system coatings obtained by magnetron sputtering |z eng | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a транспортные средства | |
| 610 | 1 | |a оптика | |
| 610 | 1 | |a покрытия | |
| 610 | 1 | |a магнетронное осаждение | |
| 610 | 1 | |a физико-механические свойства | |
| 700 | 1 | |a Калиева |b Р. А. | |
| 701 | 1 | |a Рыбалко |b Е. В. | |
| 702 | 1 | |a Божко |b И. А. |c физик |c доцент Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук |f 1980- |g Ирина Александровна |4 727 | |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет |c (2009- ) |9 26305 |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20170718 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u http://earchive.tpu.ru/handle/11683/41438 | |
| 942 | |c BK | ||