Влияние подслоя углерода и титана на электрофизические характеристики пленки нитрида алюминия на кремнии; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика

Влияние подслоя углерода и титана на электрофизические характеристики пленки нитрида алюминия на кремнии; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика

Bibliographic Details
Parent link:	Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XIV Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 25-28 апреля 2017 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. И. А. Курзиной, Г. А. Вороновой.— , 2017 Т. 1 : Физика.— 2017.— [С. 141-143]
Main Author:	Инь Шаньшань
Corporate Authors:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Лаборатория № 1, Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра общей физики (ОФ)
Other Authors:	Павлов С. К. Сергей Константинович (научный руководитель), Ван Цайлунь, Никитенков Н. Н. Николай Николаевич
Summary:	Заглавие с экрана The carbon (C) and titanium (Ti) ions were implanted onto the surface of the silicon (Si), and the thin films of aluminum nitride (AlN) were prepared on Si(100) substrate by magnetron sputtering after the implantations. The compositions of these thin film systems were studied by optical microscopy and Raman spectroscopy, and the surface conductivity of those samples were measured. It was indicated that the implanted C and Ti ions did have made a difference to the electro physical properties of the systems AlN/Si.
Language:	Russian
Published:	2017
Subjects:	труды учёных ТПУ электронный ресурс водород полупроводники нитриды детектирование ультрафиолетовое излучение
Online Access:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/41436
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=622666

Similar Items

Газофазное осаждение покрытий из нитрида титана
by: Витязь П. А. Петр Александрович
Published: (Минск, Наука и техника, 1983)

О возможности синтеза графитоподобного нитрида углерода в системе с меламином; Современные техника и технологии; Т. 3
by: Шаненков И. И. Иван Игоревич
Published: (2013)

Компактирование нанодисперсных порошков нитрида титана плазмодинамического синтеза методом искрового плазменного спекания; Современные техника и технологии; Т. 1
by: Усиков А. И. Антон Иванович
Published: (2012)

Медицинская реабилитация. Фототерапия. Лазеротерапия
by: Куимов А. Д.
Published: (Новосибирск, НГМУ, 2019)

Применение нанопорошков алюминия при получении нитридсодержащих материалов: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
by: Ан В. В. Владимир Вилорьевич
Published: (Томск, 1999)

Тугоплавкие соединения. Термодинамические характеристики: справочник
by: Войтович Р. Ф. Раиса Фоминична
Published: (Киев, Наукова думка, 1971)

Синтез нитридов Me[2]N элементов пятой группы побочной подгруппы в условиях теплового взрыва в воздухе смесей нанопорошка алюминия с пентаоксидами; Перспективные материалы конструкционного и медицинского назначения
by: Чудинова А. О.
Published: (2018)

Синтез смеси высокодисперсных карбида и нитрида бора и изучение её характеристик; Современные техника и технологии; Т. 3
by: Дюкова К. Д.
Published: (2012)

Применение нанопорошков алюминия при получении нитридсодержащих материалов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; 05.17.11
by: Ан И-Кан В. В. Владимир Вилорьевич
Published: (Томск, [Б. и.], 1999)

Ресурсосберегающий метод синтеза нитрида ниобия; Экология и безопасность в техносфере: современные проблемы и пути решения
by: Ильин А. П. Александр Петрович
Published: (2017)

Синтез нитридов сжиганием нанопорошков алюминия и вольфрама на воздухе; Физика и химия обработки материалов; № 2
by: Ильин А. П. Александр Петрович
Published: (2007)

Технология получения нитридов кремния и ниобия из ферросплавов методом самораспространяющегося высокотемпературного синтеза: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; Спец. 05.17.11
by: Чухломина Л. Н. Людмила Николаевна
Published: (Томск, [Б. и.], 2006)

Технология получения нитридов кремния и ниобия из ферросплавов методом самораспространяющегося высокотемпературного синтеза: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; Спец. 05.17.11
by: Чухломина Л. Н. Людмила Николаевна
Published: (Томск, [Б. и.], 2006)

Синтез нитридов сжиганием нанопорошка алюминия в смеси с диоксидами титана, циркония и гафния в воздухе; Огнеупоры и техническая керамика; № 3
by: Шинкевич Е. В. Екатерина Викторовна
Published: (2013)

Применение нанопорошков алюминия при получении нитридсодержащих материалов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.17.11
by: Ан В. В. Владимир Вилорьевич
Published: (Томск, [Б. и.], 1999)

Синтез нитридов при горении порошкообразных металлов III-IV групп в воздухе; Современные техника и технологии; Т. 1
by: Дитц А. А. Александр Андреевич
Published: (2006)

Синтез покрытия на основе оксида титана в пучковой газо- металлической плазме с применением форвакуумного источника электронов; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 7 : IT-технологии и электроника
by: Бадмажапов З. А.
Published: (2017)

Технология получения нитридов кремния и ниобия из ферросплавов методом самораспространяющегося высокотемпературного синтеза: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
by: Чухломина Л. Н. Людмила Николаевна
Published: (Томск, [Б. и.], 2006)

Продукты сгорания в воздухе смесей нанопорошка алюминия с пентаоксидом ниобия; Материалы и технологии новых поколений в современном материаловедении
by: Чудинова А. О.
Published: (2016)

Разработка научных и технологических основ активированного спекания керамики на основе оксидов и нитридов алюминия и циркония; Современные технологии и материалы новых поколений
by: Матренин С. В. Сергей Вениаминович
Published: (2017)

Фторидная переработка основного компонента нитридного ядерного топлива - нитрида урана: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.17.02
by: Попадейкин М. В. Максим Валерьевич
Published: (Северск, [Б. и.], 2006)

Синтез нитридов сжиганием в воздухе нанопорошка алюминия в смесях с оксидами металлов; Проблемы метрологии нанопорошков и наноматериалов
by: Роот Л. О. Людмила Олеговна
Published: (2015)

Импульсный источник коротковолнового ультрафиолетового излучения высокой плотности мощности; Приборы и техника эксперимента; № 2
by: Протасов Ю. С.
Published: (2003)

Физико-химические основы технологии получения тугоплавких нитридов ванадия, ниобия и тантала синтезом сжигания: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.4.4
by: Буслович А. О. Александра Олеговна
Published: (Томск, 2022)

Основные закономерности формирования продуктов в условиях синтеза сжиганием нанопорошка алюминия с добавками карбонатов лития и натрия, оксидов магния и кальция; Химия и химическая технология в XXI веке
by: Кривошеина В. В.
Published: (2017)

Физико-химические основы технологии получения тугоплавких нитридов ванадия, ниобия и тантала синтезом сжигания: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 1.4.4
by: Буслович А. О. Александра Олеговна
Published: (Томск, 2022)

Получение оксидно-нитридных композитов на основе продуктов сгорания промышленных порошков алюминия и циркония в воздухе; Современные техника и технологии; Т. 2
by: Дитц А. А. Александр Андреевич
Published: (2007)

Влияние параметров оптического излучения на адаптацию культуры пигментообразующего штамма Pseudomonas aeruginosa; Вестник науки Сибири; № 2 (8)
Published: (2013)

Электрические и фотоэлектрические характеристики структур на основе пленок оксида галлия: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 1.3.11
by: Цымбалов А. В. Александр Вячеславович
Published: (Томск, 2025)

Влияние ультрафиолетового облучения на термическую стабильность хлорида серебра; Вестник Томского государственного университета. Химия; № 2 (4)
by: Мостовщиков А. В. Андрей Владимирович
Published: (2016)

Влияние бомбардировки гиперскоростными микрочастицами железа на светопропускание кварцевых стекол с защитным покрытием In-Sn-O в ультрафиолетовом диапазоне; Перспективные материалы конструкционного и функционального назначения
Published: (2023)

Технология получения нитридов хрома методом самораспространяющегося высокотемпературного синтеза: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.17.11
by: Браверман Б. Ш. Борис Шулевич
Published: (Томск, [Б. и.], 2008)

О возможности получения нитрида вольфрама: труды V международной научной конференции "Химия твердого тела и современные микро- и нанотехнологии", Кисловодск, Россия, 18-23 сентября 2005 г.
by: Толбанова Л. О. Людмила Олеговна
Published: ()

Синтез керамических нитридсодержащих материалов сжиганием в воздухе смесей нанопорошка алюминия с нанопорошками W и Mo и порошком Cr: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.17.11
by: Толбанова Л. О. Людмила Олеговна
Published: (Томск, [Б. и.], 2007)

Технология получения нитридов хрома методом самораспространяющегося высокотемпературного синтеза: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.17.11
by: Браверман Б. Ш. Борис Шулевич
Published: (Томск, [Б. и.], 2008)

Ультрафиолетовые технологии в современном мире
Published: (Долгопрудный, Интеллект, 2012)

Термодинамика карбидов и нитридов: справочник
by: Куликов И. С. Иван Степанович
Published: (Челябинск, Металлургия, 1988)

Способы определения селена (IV) методом вольтамперометрии; Химия и химическая технология в XXI веке
by: Антонова С. Г. Светлана Геннадьевна
Published: (2008)

Синтез керамических нитридсодержащих материалов сжиганием в воздухе смесей нанопорошка алюминия с нанопорошками W и Mo и порошком Cr: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.17.11
by: Толбанова Л. О. Людмила Олеговна
Published: (Томск, [Б. и.], 2007)

Синтез керамических нитридсодержащих материалов сжиганием в воздухе смесей нанопорошка алюминия с нанопорошками W и Mo и порошком Cr: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
by: Толбанова Л. О. Людмила Олеговна
Published: (Томск, [Б. и.], 2007)