Влияние подслоя углерода и титана на электрофизические характеристики пленки нитрида алюминия на кремнии

Влияние подслоя углерода и титана на электрофизические характеристики пленки нитрида алюминия на кремнии

Bibliografiske detaljer
Parent link:	Перспективы развития фундаментальных наук=Prospects of Fundamental Sciences Development: сборник научных трудов XIV Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 25-28 апреля 2017 г./ Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; под ред. И. А. Курзиной, Г. А. Вороновой.— , 2017 Т. 1 : Физика.— 2017.— [С. 141-143]
Hovedforfatter:	Инь Шаньшань
Corporate Authors:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Лаборатория № 1, Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра общей физики (ОФ)
Andre forfattere:	Павлов С. К. Сергей Константинович (научный руководитель), Ван Цайлунь, Никитенков Н. Н. Николай Николаевич
Summary:	Заглавие с экрана The carbon (C) and titanium (Ti) ions were implanted onto the surface of the silicon (Si), and the thin films of aluminum nitride (AlN) were prepared on Si(100) substrate by magnetron sputtering after the implantations. The compositions of these thin film systems were studied by optical microscopy and Raman spectroscopy, and the surface conductivity of those samples were measured. It was indicated that the implanted C and Ti ions did have made a difference to the electro physical properties of the systems AlN/Si.
Sprog:	russisk
Udgivet:	2017
Fag:	труды учёных ТПУ электронный ресурс водород полупроводники нитриды детектирование ультрафиолетовое излучение
Online adgang:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/41436
Format:	Electronisk Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=622666

Lignende værker

О возможности синтеза графитоподобного нитрида углерода в системе с меламином
af: Шаненков И. И. Иван Игоревич
Udgivet: (2013)

Газофазное осаждение покрытий из нитрида титана
af: Витязь П. А. Петр Александрович
Udgivet: (Минск, Наука и техника, 1983)

Компактирование нанодисперсных порошков нитрида титана плазмодинамического синтеза методом искрового плазменного спекания
af: Усиков А. И. Антон Иванович
Udgivet: (2012)

Медицинская реабилитация. Фототерапия. Лазеротерапия
af: Куимов А. Д.
Udgivet: (Новосибирск, НГМУ, 2019)

Ресурсосберегающий метод синтеза нитрида ниобия
af: Ильин А. П. Александр Петрович
Udgivet: (2017)

Синтез смеси высокодисперсных карбида и нитрида бора и изучение её характеристик
af: Дюкова К. Д.
Udgivet: (2012)

Тугоплавкие соединения. Термодинамические характеристики справочник
af: Войтович Р. Ф. Раиса Фоминична
Udgivet: (Киев, Наукова думка, 1971)

Синтез нитридов Me[2]N элементов пятой группы побочной подгруппы в условиях теплового взрыва в воздухе смесей нанопорошка алюминия с пентаоксидами
af: Чудинова А. О.
Udgivet: (2018)

Синтез нитридов сжиганием нанопорошков алюминия и вольфрама на воздухе
af: Ильин А. П. Александр Петрович
Udgivet: (2007)

Применение нанопорошков алюминия при получении нитридсодержащих материалов диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
af: Ан В. В. Владимир Вилорьевич
Udgivet: (Томск, 1999)

Электрофизические свойства керамики на основе нитрида алюминия
Udgivet: (1986)

Применение нанопорошков алюминия при получении нитридсодержащих материалов автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук 05.17.11
af: Ан И-Кан В. В. Владимир Вилорьевич
Udgivet: (Томск, [Б. и.], 1999)

Синтез покрытия на основе оксида титана в пучковой газо- металлической плазме с применением форвакуумного источника электронов
af: Бадмажапов З. А.
Udgivet: (2017)

Синтез нитридов сжиганием нанопорошка алюминия в смеси с диоксидами титана, циркония и гафния в воздухе
af: Шинкевич Е. В. Екатерина Викторовна
Udgivet: (2013)

Синтез нитридов при горении порошкообразных металлов III-IV групп в воздухе
af: Дитц А. А. Александр Андреевич
Udgivet: (2006)

Продукты сгорания в воздухе смесей нанопорошка алюминия с пентаоксидом ниобия
af: Чудинова А. О.
Udgivet: (2016)

О возможности получения нитрида вольфрама труды V международной научной конференции "Химия твердого тела и современные микро- и нанотехнологии", Кисловодск, Россия, 18-23 сентября 2005 г.
af: Толбанова Л. О. Людмила Олеговна
Udgivet: ()

Импульсный источник коротковолнового ультрафиолетового излучения высокой плотности мощности
af: Протасов Ю. С.
Udgivet: (2003)

Влияние параметров оптического излучения на адаптацию культуры пигментообразующего штамма Pseudomonas aeruginosa
Udgivet: (2013)

Разработка научных и технологических основ активированного спекания керамики на основе оксидов и нитридов алюминия и циркония
af: Матренин С. В. Сергей Вениаминович
Udgivet: (2017)

Влияние ультрафиолетового облучения на термическую стабильность хлорида серебра
af: Мостовщиков А. В. Андрей Владимирович
Udgivet: (2016)

Синтез нитридов сжиганием в воздухе нанопорошка алюминия в смесях с оксидами металлов
af: Роот Л. О. Людмила Олеговна
Udgivet: (2015)

Электрические и фотоэлектрические характеристики структур на основе пленок оксида галлия автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 1.3.11
af: Цымбалов А. В. Александр Вячеславович
Udgivet: (Томск, 2025)

Влияние бомбардировки гиперскоростными микрочастицами железа на светопропускание кварцевых стекол с защитным покрытием In-Sn-O в ультрафиолетовом диапазоне
Udgivet: (2023)

Фторидная переработка основного компонента нитридного ядерного топлива - нитрида урана автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 05.17.02
af: Попадейкин М. В. Максим Валерьевич
Udgivet: (Северск, [Б. и.], 2006)

Основные закономерности формирования продуктов в условиях синтеза сжиганием нанопорошка алюминия с добавками карбонатов лития и натрия, оксидов магния и кальция
af: Кривошеина В. В.
Udgivet: (2017)

Получение оксидно-нитридных композитов на основе продуктов сгорания промышленных порошков алюминия и циркония в воздухе
af: Дитц А. А. Александр Андреевич
Udgivet: (2007)

Технология получения нитридов кремния и ниобия из ферросплавов методом самораспространяющегося высокотемпературного синтеза автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
af: Чухломина Л. Н. Людмила Николаевна
Udgivet: (Томск, [Б. и.], 2006)

Способы определения селена (IV) методом вольтамперометрии
af: Антонова С. Г. Светлана Геннадьевна
Udgivet: (2008)

Ультрафиолетовые технологии в современном мире
Udgivet: (Долгопрудный, Интеллект, 2012)

Синтез нитрида ниобия в условиях теплового взрыва смесей нанопорошка алюминия с пентаоксидом ниобия
Udgivet: (2018)

Drosophila Melanogaster как возможный маркер состояния биогеоценоза при действии на него ультрафиолетового и инфракрасного излучений
af: Провалова Н. В. Надежда Валерьевна
Udgivet: (2015)

Востановление спектров исследуемых источников при измерении характеристик ультрафиолетового излучения
af: Семенова Н. А.
Udgivet: (2002)

Физико-химические основы технологии получения тугоплавких нитридов ванадия, ниобия и тантала синтезом сжигания диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 1.4.4
af: Буслович А. О. Александра Олеговна
Udgivet: (Томск, 2022)

Физико-химические основы технологии получения тугоплавких нитридов ванадия, ниобия и тантала синтезом сжигания автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 1.4.4
af: Буслович А. О. Александра Олеговна
Udgivet: (Томск, 2022)

Изучение электрохимического поведения селена (IV) c использованием ультрафиолетового облучения
af: Антонова С. Г. Светлана Геннадьевна
Udgivet: (2010)

Синтез Ta[2]N сжиганием в воздухе нанопорошка алюминия с пентаоксидом тантала
af: Ивахнюк С. В.
Udgivet: (2017)

Зависимость подвижности от концентрации электронов при рассеянии на полярных оптических фононах в нитридах AIIIN
af: Борисенко С. И. Сергей Иванович
Udgivet: (2016)

Т. 1
Udgivet: (1984)

Т. 2
Udgivet: (1984)