APA (7th ed.) Citation

Инь Шаньшань, Павлов С. К. Сергей Константинович, Ван Цайлунь, & Никитенков Н. Н. Николай Николаевич. (2017). Влияние подслоя углерода и титана на электрофизические характеристики пленки нитрида алюминия на кремнии. 2017.

Chicago Style (17th ed.) Citation

Инь Шаньшань, Павлов С. К. Сергей Константинович, Ван Цайлунь, and Никитенков Н. Н. Николай Николаевич. Влияние подслоя углерода и титана на электрофизические характеристики пленки нитрида алюминия на кремнии. 2017, 2017.

MLA (9th ed.) Citation

Инь Шаньшань, et al. Влияние подслоя углерода и титана на электрофизические характеристики пленки нитрида алюминия на кремнии. 2017, 2017.