Инь Шаньшань, Павлов С. К. Сергей Константинович, Ван Цайлунь, & Никитенков Н. Н. Николай Николаевич. (2017). Влияние подслоя углерода и титана на электрофизические характеристики пленки нитрида алюминия на кремнии; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1: Физика. 2017.
Chicagoスタイル(17版)引用形式Инь Шаньшань, Павлов С. К. Сергей Константинович, Ван Цайлунь, , Никитенков Н. Н. Николай Николаевич. Влияние подслоя углерода и титана на электрофизические характеристики пленки нитрида алюминия на кремнии; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1: Физика. 2017, 2017.
MLA(9版)引用形式Инь Шаньшань, et al. Влияние подслоя углерода и титана на электрофизические характеристики пленки нитрида алюминия на кремнии; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1: Физика. 2017, 2017.