Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Лаборатория № 22, Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich, Ananin P. S. Petr Semenovich, Dektyarev S. V. Sergey Valentinovich, Shevelev A. E. Aleksey Eduardovich, & Sivin D. O. Denis Olegovich. (2016). High intensity plasma immersion metal ion beam source for surface modification of materials. 2016.
Chicago Style (17th ed.) CitationНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Лаборатория № 22, Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich, Ananin P. S. Petr Semenovich, Dektyarev S. V. Sergey Valentinovich, Shevelev A. E. Aleksey Eduardovich, and Sivin D. O. Denis Olegovich. High Intensity Plasma Immersion Metal Ion Beam Source for Surface Modification of Materials. 2016, 2016.
MLA (9th ed.) CitationНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Лаборатория № 22, et al. High Intensity Plasma Immersion Metal Ion Beam Source for Surface Modification of Materials. 2016, 2016.